Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы
Дійсна робота являє собою короткий огляд результатів досліджень і розробок, виконаних у ННЦ ХФТІ в області синтезу а-С плівок вакуумно-дуговим методом. Розглянуто основні результати розробок ключових вузлів технологічного устаткування – плазмових джерел з магнітними фільтрами. Приведено дані про с...
Збережено в:
| Дата: | 2002 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2002
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80156 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы / В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 6. — С. 125-133. — Бібліогр.: 97 назв. — рос. |