Ion kinetics in an ECR plasma source
In plasma reactors it is extremely important the study for achieving greater control of critical parameters such as the flux velocities and the energy distribution of ions. These quantities are functions of the reactor physical dimensions, magnetic field profile as well as the kinetic chemical react...
Збережено в:
| Видавець: | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
|---|---|
| Дата: | 2002 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2002
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80327 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Цитувати: | Ion kinetics in an ECR plasma source / C. Gutiérrez-Tapia // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 4. — С. 170-172. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |