2025-02-23T11:21:27-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-81102%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T11:21:27-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-81102%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T11:21:27-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T11:21:27-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде

Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде

Рассматривается возможность получения отрицательных ионов водорода при плазменном травлении углерода в водородной плазме пучково-плазменного разряда. Перспективность использования пучково-плазменного разряда для травления углерода связана с тем, что плазменное травление является одним из способов со...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Баранов, А.E., Вострикова, Е.А., Елизаров, Л.И., Иванов, А.А., Ливадный, А.О., Пастухов, А.Н., Пташник, А.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Series:Вопросы атомной науки и техники
Subjects:
Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81102
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81102

Similar Items