Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде
Рассматривается возможность получения отрицательных ионов водорода при плазменном травлении углерода в водородной плазме пучково-плазменного разряда. Перспективность использования пучково-плазменного разряда для травления углерода связана с тем, что плазменное травление является одним из способов со...
Збережено в:
| Дата: | 2006 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81102 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде / А.E. Баранов, Е.А. Вострикова, Л.И. Елизаров, А.А. Иванов, А.О. Ливадный, А.Н. Пастухов, А.А. Пташник // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 72-75. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-81102 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-811022015-05-06T03:01:58Z Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде Баранов, А.E. Вострикова, Е.А. Елизаров, Л.И. Иванов, А.А. Ливадный, А.О. Пастухов, А.Н. Пташник, А.А. Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд Рассматривается возможность получения отрицательных ионов водорода при плазменном травлении углерода в водородной плазме пучково-плазменного разряда. Перспективность использования пучково-плазменного разряда для травления углерода связана с тем, что плазменное травление является одним из способов создания автоэмиссионных углеродных катодов с большой плотностью эмиссионных центров. У роботі розглядається можливість отримання негативних іонів водню при плазмовому травленні вуглецю у водневій плазмі пучково-плазмового розряду. Перспективність використання пучково- плазмового розряду для травлення вуглецю пов’язана з тим, що плазмове травлення є одним із способів створення автоемісійних вуглецевих катодів з високою густиною емісійних центрів. In this paper it is considered a possibility of a hydrogen negative ion obtainment at hydrogen plasma etching of carbon into a beam-plasma discharge. The usage perspective of beam-plasma discharge for carbon etching is connected with this fact that a plasma etching is one of a way on the auto emission carbon cathodes with the emission high density centers. 2006 Article Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде / А.E. Баранов, Е.А. Вострикова, Л.И. Елизаров, А.А. Иванов, А.О. Ливадный, А.Н. Пастухов, А.А. Пташник // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 72-75. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 1562-6016 PACS: 81.20.Ka http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81102 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд |
| spellingShingle |
Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд Баранов, А.E. Вострикова, Е.А. Елизаров, Л.И. Иванов, А.А. Ливадный, А.О. Пастухов, А.Н. Пташник, А.А. Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Рассматривается возможность получения отрицательных ионов водорода при плазменном травлении углерода в водородной плазме пучково-плазменного разряда. Перспективность использования пучково-плазменного разряда для травления углерода связана с тем, что плазменное травление является одним из способов создания автоэмиссионных углеродных катодов с большой плотностью эмиссионных центров. |
| format |
Article |
| author |
Баранов, А.E. Вострикова, Е.А. Елизаров, Л.И. Иванов, А.А. Ливадный, А.О. Пастухов, А.Н. Пташник, А.А. |
| author_facet |
Баранов, А.E. Вострикова, Е.А. Елизаров, Л.И. Иванов, А.А. Ливадный, А.О. Пастухов, А.Н. Пташник, А.А. |
| author_sort |
Баранов, А.E. |
| title |
Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде |
| title_short |
Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде |
| title_full |
Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде |
| title_fullStr |
Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде |
| title_full_unstemmed |
Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде |
| title_sort |
получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2006 |
| topic_facet |
Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81102 |
| citation_txt |
Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде / А.E. Баранов, Е.А. Вострикова, Л.И. Елизаров, А.А. Иванов, А.О. Ливадный, А.Н. Пастухов, А.А. Пташник // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 72-75. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT baranovae polučenieotricatelʹnyhionovvodorodavpučkovoplazmennomrazrâde AT vostrikovaea polučenieotricatelʹnyhionovvodorodavpučkovoplazmennomrazrâde AT elizarovli polučenieotricatelʹnyhionovvodorodavpučkovoplazmennomrazrâde AT ivanovaa polučenieotricatelʹnyhionovvodorodavpučkovoplazmennomrazrâde AT livadnyjao polučenieotricatelʹnyhionovvodorodavpučkovoplazmennomrazrâde AT pastuhovan polučenieotricatelʹnyhionovvodorodavpučkovoplazmennomrazrâde AT ptašnikaa polučenieotricatelʹnyhionovvodorodavpučkovoplazmennomrazrâde |
| first_indexed |
2023-10-18T19:22:25Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:22:25Z |
| _version_ |
1796146740744683520 |