Геликонный источник ионов в режиме высокой плотности плазмы

Проведены исследования геликонного источника водородной/гелиевой/аргоновой плазмы для ионно-пучковых приложений. Для создания продольного магнитного поля в геликонном источнике применена компактная магнитная система с постоянными магнитами (NdFeB) и ферритами кольцевой формы. Измеренные плотности пл...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2006
Автори:	Мордик, С.Н., Возный, В.И., Мирошниченко, В.И., Нагорный, А.Г., Нагорный, Д.А., Сторижко, В.Е., Шульга, Д.П.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Назва видання:	Вопросы атомной науки и техники
Теми:	Приложения и технологии
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81183
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Геликонный источник ионов в режиме высокой плотности плазмы / С.Н. Мордик, В.И. Возный, В.И. Мирошниченко, А.Г. Нагорный, Д.А. Нагорный, В.Е. Сторижко, Д.П. Шульга // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 208-211. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-81183
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-811832015-05-13T03:01:59Z Геликонный источник ионов в режиме высокой плотности плазмы Мордик, С.Н. Возный, В.И. Мирошниченко, В.И. Нагорный, А.Г. Нагорный, Д.А. Сторижко, В.Е. Шульга, Д.П. Приложения и технологии Проведены исследования геликонного источника водородной/гелиевой/аргоновой плазмы для ионно-пучковых приложений. Для создания продольного магнитного поля в геликонном источнике применена компактная магнитная система с постоянными магнитами (NdFeB) и ферритами кольцевой формы. Измеренные плотности плазмы составляли величину 0.910¹³ см⁻³ (для аргона), 2.510¹² см⁻³ (для гелия) и 610¹¹ см⁻³ (для водорода) при рабочем давлении газа в источнике <10 мТорр и вводимой в плазму ВЧ-мощности <350 Вт (fВЧ=27.12 МГц). Плотность ионного тока составляла величину ~ 100 мА/см² при диаметре эмиссионного отверстия 0.6 мм. Измерения плотности плазмы производились с помощью СВЧ-интерферометра. We are testing a high-plasma-density Helicon Source for ion beam application. Experiments were performed with a hydrogen-, helium- and argon gas. The source has been diagnosed by a microwave interferometer. Measured plasma densities in the vicinity antenna of up to 9.0⋅10¹³ cm⁻³ (for argon), 2.4⋅10¹² cm⁻³ (for helium), and 6.5⋅10¹¹ cm⁻³ (for hydrogen) were obtained for working gas pressure of <10 mTorr and RF power <350 W (fRF=27.12 MHz). The ion current density was ~100 mA/cm² Проведені дослідження геліконного джерела водневої /гелійової/ аргонової плазми для іонно-пучкових застосувань. Для створення подовжнього магнітного поля в геліконному джерелі застосована компактна магнітна система зі сталими магнітами (NdFeB) і феритами кільцевої форми. Виміряні густини плазми були 0.910¹³ см⁻³ (для аргону), 2.510¹² см⁻³ (для гелію) і 610¹¹ см⁻³ (для водню) при робочому тиску газу у джерелі 2006 Article Геликонный источник ионов в режиме высокой плотности плазмы / С.Н. Мордик, В.И. Возный, В.И. Мирошниченко, А.Г. Нагорный, Д.А. Нагорный, В.Е. Сторижко, Д.П. Шульга // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 208-211. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 1562-6016 PACS: 52.50.Dg http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81183 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
topic	Приложения и технологии Приложения и технологии
spellingShingle	Приложения и технологии Приложения и технологии Мордик, С.Н. Возный, В.И. Мирошниченко, В.И. Нагорный, А.Г. Нагорный, Д.А. Сторижко, В.Е. Шульга, Д.П. Геликонный источник ионов в режиме высокой плотности плазмы Вопросы атомной науки и техники
description	Проведены исследования геликонного источника водородной/гелиевой/аргоновой плазмы для ионно-пучковых приложений. Для создания продольного магнитного поля в геликонном источнике применена компактная магнитная система с постоянными магнитами (NdFeB) и ферритами кольцевой формы. Измеренные плотности плазмы составляли величину 0.910¹³ см⁻³ (для аргона), 2.510¹² см⁻³ (для гелия) и 6*10¹¹ см⁻³ (для водорода) при рабочем давлении газа в источнике <10 мТорр и вводимой в плазму ВЧ-мощности <350 Вт (fВЧ=27.12 МГц). Плотность ионного тока составляла величину ~ 100 мА/см² при диаметре эмиссионного отверстия 0.6 мм. Измерения плотности плазмы производились с помощью СВЧ-интерферометра.
format	Article
author	Мордик, С.Н. Возный, В.И. Мирошниченко, В.И. Нагорный, А.Г. Нагорный, Д.А. Сторижко, В.Е. Шульга, Д.П.
author_facet	Мордик, С.Н. Возный, В.И. Мирошниченко, В.И. Нагорный, А.Г. Нагорный, Д.А. Сторижко, В.Е. Шульга, Д.П.
author_sort	Мордик, С.Н.
title	Геликонный источник ионов в режиме высокой плотности плазмы
title_short	Геликонный источник ионов в режиме высокой плотности плазмы
title_full	Геликонный источник ионов в режиме высокой плотности плазмы
title_fullStr	Геликонный источник ионов в режиме высокой плотности плазмы
title_full_unstemmed	Геликонный источник ионов в режиме высокой плотности плазмы
title_sort	геликонный источник ионов в режиме высокой плотности плазмы
publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate	2006
topic_facet	Приложения и технологии
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81183
citation_txt	Геликонный источник ионов в режиме высокой плотности плазмы / С.Н. Мордик, В.И. Возный, В.И. Мирошниченко, А.Г. Нагорный, Д.А. Нагорный, В.Е. Сторижко, Д.П. Шульга // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 208-211. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
series	Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv	AT mordiksn gelikonnyjistočnikionovvrežimevysokojplotnostiplazmy AT voznyjvi gelikonnyjistočnikionovvrežimevysokojplotnostiplazmy AT mirošničenkovi gelikonnyjistočnikionovvrežimevysokojplotnostiplazmy AT nagornyjag gelikonnyjistočnikionovvrežimevysokojplotnostiplazmy AT nagornyjda gelikonnyjistočnikionovvrežimevysokojplotnostiplazmy AT storižkove gelikonnyjistočnikionovvrežimevysokojplotnostiplazmy AT šulʹgadp gelikonnyjistočnikionovvrežimevysokojplotnostiplazmy
first_indexed	2023-10-18T19:22:36Z
last_indexed	2023-10-18T19:22:36Z
_version_	1796146749328326656

Геликонный источник ионов в режиме высокой плотности плазмы

Репозитарії

Схожі ресурси