Теория и моделирование имплантации ионов бора в монокристаллы кремния

• Дата: 2006
• Автори: Братченко, М.И., Дюльдя, С.В., Бакай, А.С.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
• Назва видання: Вопросы атомной науки и техники
• Теми: Работы молодых ученых института физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81440
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Теория и моделирование имплантации ионов бора в монокристаллы кремния / М.И. Братченко, С.В. Дюльдя, А.С. Бакай // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 179-183. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Построена стохастическая теория кинетики аксиального каналирования ионов низких энергий, учитывающая потери полной энергии при движении иона в канале. Получено аналитическое выражение для функции деканалирования ионов. Проведено сравнение результатов расчета функции деканалирования и профиля внедрен...