Теория и моделирование имплантации ионов бора в монокристаллы кремния
Построена стохастическая теория кинетики аксиального каналирования ионов низких энергий, учитывающая потери полной энергии при движении иона в канале. Получено аналитическое выражение для функции деканалирования ионов. Проведено сравнение результатов расчета функции деканалирования и профиля внедрен...
Збережено в:
| Дата: | 2006 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81440 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Теория и моделирование имплантации ионов бора в монокристаллы кремния / М.И. Братченко, С.В. Дюльдя, А.С. Бакай // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 179-183. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-81440 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-814402015-05-16T03:01:55Z Теория и моделирование имплантации ионов бора в монокристаллы кремния Братченко, М.И. Дюльдя, С.В. Бакай, А.С. Работы молодых ученых института физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ Построена стохастическая теория кинетики аксиального каналирования ионов низких энергий, учитывающая потери полной энергии при движении иона в канале. Получено аналитическое выражение для функции деканалирования ионов. Проведено сравнение результатов расчета функции деканалирования и профиля внедрения ионов бора различных энергий, падающих на кристалл кремния в направлении <100>, с результатами компьютерного моделирования и экспериментальными данными, и получено хорошее качественное и количественное согласие. Побудовано стохастичну теорію кінетики аксіального каналювання іонів низьких енергій з урахуванням втрат повної енергії при русі іона в каналі. Отримано аналітичний вираз для функції деканалювання іонів. Проведено порівняння результатів розрахунку функції деканалювання та профілю залягання іонів бору різних енергій, що падають на кристал кремнію в напрямку <100>, з результатами комп'ютерного моделювання та експериментальними даними, і отримано добре якісне та кількісне узгодження. The stochastic theory of kinetics of axial channeling of low energies ions has been built taking into account the energy losses of ions in a channel. The analytical expression for the dechanneling function of ions has been obtained. The dechanneling fucntions and dopant profiles of boron ions of various energies implanted into the silicon single crystal along the <100> direction have been calculation both analytically and by means of the computer simulation method and good qualitative and quantitative agreement between the results of calculations and the experimental SIMS data has been achieved. 2006 Article Теория и моделирование имплантации ионов бора в монокристаллы кремния / М.И. Братченко, С.В. Дюльдя, А.С. Бакай // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 179-183. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81440 539+621.039 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Работы молодых ученых института физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ Работы молодых ученых института физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ |
| spellingShingle |
Работы молодых ученых института физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ Работы молодых ученых института физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ Братченко, М.И. Дюльдя, С.В. Бакай, А.С. Теория и моделирование имплантации ионов бора в монокристаллы кремния Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Построена стохастическая теория кинетики аксиального каналирования ионов низких энергий, учитывающая потери полной энергии при движении иона в канале. Получено аналитическое выражение для функции деканалирования ионов. Проведено сравнение результатов расчета функции деканалирования и профиля внедрения ионов бора различных энергий, падающих на кристалл кремния в направлении <100>, с результатами компьютерного моделирования и экспериментальными данными, и получено хорошее качественное и количественное согласие. |
| format |
Article |
| author |
Братченко, М.И. Дюльдя, С.В. Бакай, А.С. |
| author_facet |
Братченко, М.И. Дюльдя, С.В. Бакай, А.С. |
| author_sort |
Братченко, М.И. |
| title |
Теория и моделирование имплантации ионов бора в монокристаллы кремния |
| title_short |
Теория и моделирование имплантации ионов бора в монокристаллы кремния |
| title_full |
Теория и моделирование имплантации ионов бора в монокристаллы кремния |
| title_fullStr |
Теория и моделирование имплантации ионов бора в монокристаллы кремния |
| title_full_unstemmed |
Теория и моделирование имплантации ионов бора в монокристаллы кремния |
| title_sort |
теория и моделирование имплантации ионов бора в монокристаллы кремния |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2006 |
| topic_facet |
Работы молодых ученых института физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81440 |
| citation_txt |
Теория и моделирование имплантации ионов бора в монокристаллы кремния / М.И. Братченко, С.В. Дюльдя, А.С. Бакай // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 179-183. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT bratčenkomi teoriâimodelirovanieimplantaciiionovboravmonokristallykremniâ AT dûlʹdâsv teoriâimodelirovanieimplantaciiionovboravmonokristallykremniâ AT bakajas teoriâimodelirovanieimplantaciiionovboravmonokristallykremniâ |
| first_indexed |
2023-10-18T19:23:12Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:23:12Z |
| _version_ |
1796146776873369600 |