Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna
A new modification of the helicon discharge capable of producing linearly uniform plasma is investigated. The discharge is excited in magnetic field by an inductive antenna consisting of two parallel linear conductors with antiphase RF currents, similar to a two-wire transmission line. The wave natu...
Збережено в:
| Дата: | 2014 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2014
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81951 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna / A.G. Borisenko, M.A. Beloshenko, V.F. Virko, Yu.V. Virko, V.M. Slobodyan // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 153-156. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-81951 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-819512015-05-23T03:01:33Z Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna Borisenko, A.G. Beloshenko, M.A. Virko, V.F. Virko, Yu.V. Slobodyan, V.M. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии A new modification of the helicon discharge capable of producing linearly uniform plasma is investigated. The discharge is excited in magnetic field by an inductive antenna consisting of two parallel linear conductors with antiphase RF currents, similar to a two-wire transmission line. The wave nature of the discharge is demonstrated. It is shown that there exist some discharge conditions in which plasma density is homogenous along a significant part of the antenna length. A convenient for realization discharge system with the linear antenna immersed into plasma is proposed. Provided further improvement this discharge may be used for uniform plasma processing of large surfaces. Исследована новая разновидность геликонного разряда, способного генерировать линейно однородную плазму. Разряд возбуждается в магнитном поле индукционной антенной, состоящей из двух параллельных проводников с противофазными ВЧ-токами, подобно двухпроводной передающей линии. Продемонстрирована волновая природа разряда. Показано, что существуют некоторые разрядные условия, в которых плотность плазмы однородна на значительной части длины антенны. Предложена удобная в реализации разрядная система с линейной антенной, погружённой в плазму. При дальнейшем усовершенствовании такой разряд может быть использован для однородной плазменной обработки больших поверхностей. Досліджено новий різновид геліконного розряду, здатного утворювати лінійно однорідну плазму. Розряд збуджується в магнітному полі індукційною антеною, що складається з двох паралельних провідників з протифазними ВЧ-струмами, подібно до двопровідної передавальної лінії. Продемонстровано хвильову природу розряду. Показано, що існують деякі розрядні умови, в яких густина плазми є однорідною на значній частині довжини антени. Запропонована зручна в реалізації розрядна система з лінійною антеною, зануреною в плазму. При подальшому удосконаленні такий розряд може бути використано для однорідної плазмової обробки великих поверхонь. 2014 Article Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna / A.G. Borisenko, M.A. Beloshenko, V.F. Virko, Yu.V. Virko, V.M. Slobodyan // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 153-156. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.50.Qt, 52.75.Di http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81951 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| spellingShingle |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Borisenko, A.G. Beloshenko, M.A. Virko, V.F. Virko, Yu.V. Slobodyan, V.M. Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna Вопросы атомной науки и техники |
| description |
A new modification of the helicon discharge capable of producing linearly uniform plasma is investigated. The discharge is excited in magnetic field by an inductive antenna consisting of two parallel linear conductors with antiphase RF currents, similar to a two-wire transmission line. The wave nature of the discharge is demonstrated. It is shown that there exist some discharge conditions in which plasma density is homogenous along a significant part of the antenna length. A convenient for realization discharge system with the linear antenna immersed into plasma is proposed. Provided further improvement this discharge may be used for uniform plasma processing of large surfaces. |
| format |
Article |
| author |
Borisenko, A.G. Beloshenko, M.A. Virko, V.F. Virko, Yu.V. Slobodyan, V.M. |
| author_facet |
Borisenko, A.G. Beloshenko, M.A. Virko, V.F. Virko, Yu.V. Slobodyan, V.M. |
| author_sort |
Borisenko, A.G. |
| title |
Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna |
| title_short |
Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna |
| title_full |
Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna |
| title_fullStr |
Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna |
| title_full_unstemmed |
Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna |
| title_sort |
modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2014 |
| topic_facet |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81951 |
| citation_txt |
Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna / A.G. Borisenko, M.A. Beloshenko, V.F. Virko, Yu.V. Virko, V.M. Slobodyan // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 153-156. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT borisenkoag modifiedhelicondischargeexcitedbyalinearinductiveantenna AT beloshenkoma modifiedhelicondischargeexcitedbyalinearinductiveantenna AT virkovf modifiedhelicondischargeexcitedbyalinearinductiveantenna AT virkoyuv modifiedhelicondischargeexcitedbyalinearinductiveantenna AT slobodyanvm modifiedhelicondischargeexcitedbyalinearinductiveantenna |
| first_indexed |
2023-10-18T19:24:08Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:24:08Z |
| _version_ |
1796146827669536768 |