Search Results - Borisenko, A.G.
- Showing 1 - 7 results of 7
-
1
-
2
Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники by Borisenko, A. G.
Published 2013Get full text
Article -
3
-
4
-
5
-
6
-
7
Search Tools:
Related Subjects
Low temperature plasma and plasma technologies
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
4NSiC silicon carbide
Applications and technologies
anode
arc discharge
diode chip
ion-plasma etching
mesastructure
nanostructure
p–i–n-diode
p–i–n-диод
silicon etching
vacuum
анод
вакуум
дуговой разряд
карбид кремния 4НSiC
мезаструктура
наноструктура
травление ионно-плазменное
травление кремния
чип диода