Growth of forest of single-walled carbon nanotubes at inhomogenious fluxes from plasma
The growth of forest of single-walled carbon nanotubes (SWCNTs) in plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) is studied using a deposition model. The inhomogeneity in deposition of neutrals from plasma on the SWCNTs, which is typical for growth of the nanostructures in PECVD, is accounted fo...
Збережено в:
Дата: | 2015 |
---|---|
Автори: | , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2015
|
Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82147 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Growth of forest of single-walled carbon nanotubes at inhomogenious fluxes from plasma / G.P. Burmaka, I.B. Denysenko, N.A. Azarenkov // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 184-186. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |