Impact of N₂+H₂ mixture plasma on carbon-containing film
The short review is done of published data on impact of plasma produced in the N₂+H₂ mixture on carbon and organic films. It is concluded that such plasma can be much more effective in cleaning of the walls of fusion devices from a carbon-based contaminating deposit in comparison with plasmas of...
Збережено в:
Дата: | 2006 |
---|---|
Автори: | , , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82153 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Impact of N₂+H₂ mixture plasma on carbon-containing film / V.S. Voitsenya, S. Masuzaki, O. Motojima, A. Sagara, W. Jacob // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 6. — С. 141-143. — Бібліогр.: 16 назв. — англ. |