Impact of N₂+H₂ mixture plasma on carbon-containing film

The short review is done of published data on impact of plasma produced in the N₂+H₂ mixture on carbon and organic films. It is concluded that such plasma can be much more effective in cleaning of the walls of fusion devices from a carbon-based contaminating deposit in comparison with plasmas of...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2006
Автори: Voitsenya, V.S., Masuzaki, S., Motojima, O., Sagara, A., Jacob, W.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82153
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Impact of N₂+H₂ mixture plasma on carbon-containing film / V.S. Voitsenya, S. Masuzaki, O. Motojima, A. Sagara, W. Jacob // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 6. — С. 141-143. — Бібліогр.: 16 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine