Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials
Formula for intrinsic stress calculation in coatings deposited from ion flux in the pulse potential mode is derived. The criterion of applicability of derived formula is proposed which permits determining critical parameters of the pulse potential mode. Calculation of stress in DLC coatings at depos...
Збережено в:
| Дата: | 2015 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2015
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82254 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials / A.I. Kalinichenko, S.S. Perepelkin, V.E. Strel’nitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 252-255. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |