Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка
Представлены экспериментальные результаты исследований тонких пленок, полученных путем осаждения кластерного пучка на подложки из кремния. Для синтеза пленок использовался источник кластерного пучка с лазерным испарением. Синтезировались металл-содержащие кластеры в потоках инертных и реак- тивных...
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2009
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/90769 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 6. — С. 175-180. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |