Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma

Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma

The problem of determination of the content of atomic nitrogen in glow discharge plasma in a nitrogen-argon mixture is considered. The discharge in this mixture is widely applied in the technologies of metal`s surfaces modification and the atomic nitrogen is responsible for the efficiency of this...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2011
Автори: Zhovtyansky, V.A., Nazarenko, V.G., Khomych, V.O., Ryabtsev, A.V., Anisimova, O.V., Nevzglyad, I.O., Shnyt, O.Ya.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/90886
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma / V.А. Zhovtyansky, V.G. Nazarenko, V.O. Khomych, A.V. Ryabtsev, O.V. Anisimova, I.O. Nevzglyad, O.Ya. Shnyt // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 92-94. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-90886
record_format dspace
spelling irk-123456789-908862016-04-15T13:54:32Z Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma Zhovtyansky, V.A. Nazarenko, V.G. Khomych, V.O. Ryabtsev, A.V. Anisimova, O.V. Nevzglyad, I.O. Shnyt, O.Ya. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии The problem of determination of the content of atomic nitrogen in glow discharge plasma in a nitrogen-argon mixture is considered. The discharge in this mixture is widely applied in the technologies of metal`s surfaces modification and the atomic nitrogen is responsible for the efficiency of this technologies. Influence of mixture composition on the rate constant of dissociation of molecular nitrogen, accountable for producing of atomic nitrogen is determined by simulation way, and parameters of plasma – from an experiment, on the basis of measuring by double probes. A function of distribution of electrons on energies was founded by numerically integrating the Boltzmann equation. The last one was written in the binomial approaching for mixture of molecular nitrogen and argon. The differences between proposed and fluid models are briefly discussed. Розглянуто задачу визначення вмісту атомарного азоту як активної компоненти, відповідальної за ефективність технологій модифікації поверхні металів у плазмі стаціонарного жевріючого розряду низького тиску в суміші азот-аргон, що широко застосовується в цих технологіях. Вплив складу суміші на швидкісну константу дисоціації молекулярного азоту, відповідальну за продукування атомарного азоту, визначено розрахунковим шляхом, а параметри плазми – експериментально, на основі вимірювань подвійними зондами. Функція розподілу електронів по енергіях визначена на основі чисельного інтегрування рівняння Больцмана, записаного в двочленному наближенні для суміші молекулярного азоту і аргону. Коротко аналізуються відмінності обговорюваного підходу та розв’язку задачі в гідродинамічній моделі. Рассмотрена задача определения содержания атомарного азота как активной компоненты, ответственной за эффективность технологий модификации поверхности металлов в плазме стационарного тлеющего разряда низкого давления в смеси азот-аргон, широко применяемой в этих технологиях. Влияние состава смеси на скоростную константу диссоциации молекулярного азота, ответственной за продуцирование атомарного азота, определено расчетным путем, а параметры плазмы – экспериментально, на основе измерений двойными зондами. Функция распределения электронов по энергиям находилась путем численного интегрирования уравнения Больцмана, записанного в двучленном приближении для смеси молекулярного азота и аргона. Кратко обсуждены различия обсуждаемого подхода с решением задачи в гидродинамической модели. 2011 Article Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma / V.А. Zhovtyansky, V.G. Nazarenko, V.O. Khomych, A.V. Ryabtsev, O.V. Anisimova, I.O. Nevzglyad, O.Ya. Shnyt // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 92-94. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 51.50.+v, 52.25.Dg, 52.80.Hc http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/90886 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
topic Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
spellingShingle Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Zhovtyansky, V.A.
Nazarenko, V.G.
Khomych, V.O.
Ryabtsev, A.V.
Anisimova, O.V.
Nevzglyad, I.O.
Shnyt, O.Ya.
Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma
Вопросы атомной науки и техники
description The problem of determination of the content of atomic nitrogen in glow discharge plasma in a nitrogen-argon mixture is considered. The discharge in this mixture is widely applied in the technologies of metal`s surfaces modification and the atomic nitrogen is responsible for the efficiency of this technologies. Influence of mixture composition on the rate constant of dissociation of molecular nitrogen, accountable for producing of atomic nitrogen is determined by simulation way, and parameters of plasma – from an experiment, on the basis of measuring by double probes. A function of distribution of electrons on energies was founded by numerically integrating the Boltzmann equation. The last one was written in the binomial approaching for mixture of molecular nitrogen and argon. The differences between proposed and fluid models are briefly discussed.
format Article
author Zhovtyansky, V.A.
Nazarenko, V.G.
Khomych, V.O.
Ryabtsev, A.V.
Anisimova, O.V.
Nevzglyad, I.O.
Shnyt, O.Ya.
author_facet Zhovtyansky, V.A.
Nazarenko, V.G.
Khomych, V.O.
Ryabtsev, A.V.
Anisimova, O.V.
Nevzglyad, I.O.
Shnyt, O.Ya.
author_sort Zhovtyansky, V.A.
title Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma
title_short Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma
title_full Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma
title_fullStr Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma
title_full_unstemmed Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma
title_sort efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2011
topic_facet Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/90886
citation_txt Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma / V.А. Zhovtyansky, V.G. Nazarenko, V.O. Khomych, A.V. Ryabtsev, O.V. Anisimova, I.O. Nevzglyad, O.Ya. Shnyt // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 92-94. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT zhovtyanskyva efficiencyofthenitridingprocessinglowdischargeplasma
AT nazarenkovg efficiencyofthenitridingprocessinglowdischargeplasma
AT khomychvo efficiencyofthenitridingprocessinglowdischargeplasma
AT ryabtsevav efficiencyofthenitridingprocessinglowdischargeplasma
AT anisimovaov efficiencyofthenitridingprocessinglowdischargeplasma
AT nevzglyadio efficiencyofthenitridingprocessinglowdischargeplasma
AT shnytoya efficiencyofthenitridingprocessinglowdischargeplasma
first_indexed 2023-10-18T19:42:48Z
last_indexed 2023-10-18T19:42:48Z
_version_ 1796147712920387584

Схожі ресурси