Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
Studies were made into erosion of titanium nitride coatings deposited onto stainless steel substrates in two different ways of vacuum-arc technology: with and without feeding high-voltage negative pulses on the substrate. A possible physical mechanism is offered and discussed to explain the differ...
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/90894 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges / G.P. Glazunov, A.A. Andreev, M.N. Bondarenko, A.L. Konotopskiy, V.A. Stolbovoy // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 116-118. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |