Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
Studies were made into erosion of titanium nitride coatings deposited onto stainless steel substrates in two different ways of vacuum-arc technology: with and without feeding high-voltage negative pulses on the substrate. A possible physical mechanism is offered and discussed to explain the differ...
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/90894 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges / G.P. Glazunov, A.A. Andreev, M.N. Bondarenko, A.L. Konotopskiy, V.A. Stolbovoy // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 116-118. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-90894 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-908942016-01-06T03:02:20Z Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges Glazunov, G.P. Andreev, A.A. Bondarenko, M.N. Konotopskiy, A.L. Stolbovoy, V.A. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Studies were made into erosion of titanium nitride coatings deposited onto stainless steel substrates in two different ways of vacuum-arc technology: with and without feeding high-voltage negative pulses on the substrate. A possible physical mechanism is offered and discussed to explain the different character of erosion behavior. Досліджено ерозію покриттів з нітриду титану, осаджених на підкладки з неіржавіючої сталі двома різними методами вакуумно-дугової технології: з подачею і без подачі високовольтних імпульсів негативної полярності на підкладку. Пропонується і обговорюється фізичний механізм для пояснення різного характеру ерозійної поведінки. Исследована эрозия покрытий из нитрида титана, осажденных на подложки из нержавеющей стали двумя различными методами вакуумно-дуговой технологии: с подачей и без подачи высоковольтных импульсов отрицательной полярности на подложку. Предлагается и обсуждается физический механизм для объяснения различного характера эрозионного поведения. 2011 Article Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges / G.P. Glazunov, A.A. Andreev, M.N. Bondarenko, A.L. Konotopskiy, V.A. Stolbovoy // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 116-118. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.40.Hf http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/90894 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| spellingShingle |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Glazunov, G.P. Andreev, A.A. Bondarenko, M.N. Konotopskiy, A.L. Stolbovoy, V.A. Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Studies were made into erosion of titanium nitride coatings deposited onto stainless steel substrates in two different
ways of vacuum-arc technology: with and without feeding high-voltage negative pulses on the substrate. A possible
physical mechanism is offered and discussed to explain the different character of erosion behavior. |
| format |
Article |
| author |
Glazunov, G.P. Andreev, A.A. Bondarenko, M.N. Konotopskiy, A.L. Stolbovoy, V.A. |
| author_facet |
Glazunov, G.P. Andreev, A.A. Bondarenko, M.N. Konotopskiy, A.L. Stolbovoy, V.A. |
| author_sort |
Glazunov, G.P. |
| title |
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges |
| title_short |
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges |
| title_full |
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges |
| title_fullStr |
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges |
| title_full_unstemmed |
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges |
| title_sort |
erosion of vacuum-arc tin coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2011 |
| topic_facet |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/90894 |
| citation_txt |
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges / G.P. Glazunov, A.A. Andreev, M.N. Bondarenko, A.L. Konotopskiy, V.A. Stolbovoy // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 116-118. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT glazunovgp erosionofvacuumarctincoatingsinplasmaofstationarymagnetrontypedischarges AT andreevaa erosionofvacuumarctincoatingsinplasmaofstationarymagnetrontypedischarges AT bondarenkomn erosionofvacuumarctincoatingsinplasmaofstationarymagnetrontypedischarges AT konotopskiyal erosionofvacuumarctincoatingsinplasmaofstationarymagnetrontypedischarges AT stolbovoyva erosionofvacuumarctincoatingsinplasmaofstationarymagnetrontypedischarges |
| first_indexed |
2023-10-18T19:42:49Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:42:49Z |
| _version_ |
1796147713769734144 |