Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor
In the paper the level of high-current pulse discharge plasma influence on the chamber wall is carried out, that is important for position choosing of the nanolithographer first collecting mirror with gas-discharge radiation source. In the high-current pulse discharge in tin vapor the dynamic of w...
Збережено в:
Видавець: | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
---|---|
Дата: | 2011 |
Автори: | Tseluyko, A.F., Lazurik, V.T., Ryabchikov, D.L., Hassanein, A., Borgun, I.V., Sereda, I.N., Borisko, S.V. |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/90952 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Цитувати: | Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor / A.F. Tseluyko, V.T. Lazurik, D.L. Ryabchikov, A. Hassanein, I.V. Borgun , I.N. Sereda, S.V. Borisko // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 143-145. — Бібліогр.: 2 назв. — англ. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
-
Influence of plasma nucleus form on radiation orientation in high-current pulse plasma diode
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2010) -
Influence of external magnetic field on intensity and directivity of EUV radiation from high-current pulse plasma diode
за авторством: Borgun, Ie.V., та інші
Опубліковано: (2012) -
Dynamics of EUV-radiation from the partially contracted plasma diode
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2015) -
Dynamics and directions of extreme ultraviolet radiation from plasma of the high-current pulse diode
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2009) -
Influence of hydrogen supply on emissive characteristics of pig with metal-hydride cathode
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2014)