Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий
Представлены технические характеристики и конструктивные особенности электронно-лучевых установок, разработанных в Международном центре электроннолучевых технологий Института электросварки им. Е. О. Патона и предназначенных для получения материалов и покрытий путем электронно-лучевого испарения и по...
Збережено в:
Дата: | 2004 |
---|---|
Автори: | , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
2004
|
Назва видання: | Современная электрометаллургия |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/95079 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий / Б.А. Мовчан, К.Ю. Яковчук // Современная электрометаллургия. — 2004. — № 2 (75). — С. 10-15. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |