Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий

Представлены технические характеристики и конструктивные особенности электронно-лучевых установок, разработанных в Международном центре электроннолучевых технологий Института электросварки им. Е. О. Патона и предназначенных для получения материалов и покрытий путем электронно-лучевого испарения и по...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2004
Автори: Мовчан, Б.А., Яковчук, К.Ю.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2004
Назва видання:Современная электрометаллургия
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/95079
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий / Б.А. Мовчан, К.Ю. Яковчук // Современная электрометаллургия. — 2004. — № 2 (75). — С. 10-15. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-95079
record_format dspace
spelling irk-123456789-950792016-02-14T03:02:10Z Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий Мовчан, Б.А. Яковчук, К.Ю. Электронно-лучевые процессы Представлены технические характеристики и конструктивные особенности электронно-лучевых установок, разработанных в Международном центре электроннолучевых технологий Института электросварки им. Е. О. Патона и предназначенных для получения материалов и покрытий путем электронно-лучевого испарения и последующей конденсации в вакууме. Рассмотрены пути дальнейшего развития и совершенствования электронно-лучевого оборудования, связанные с внедрением новых технологических процессов в машиностроении. 2004 Article Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий / Б.А. Мовчан, К.Ю. Яковчук // Современная электрометаллургия. — 2004. — № 2 (75). — С. 10-15. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. 0233-7681 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/95079 ru Современная электрометаллургия Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Электронно-лучевые процессы
Электронно-лучевые процессы
spellingShingle Электронно-лучевые процессы
Электронно-лучевые процессы
Мовчан, Б.А.
Яковчук, К.Ю.
Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий
Современная электрометаллургия
description Представлены технические характеристики и конструктивные особенности электронно-лучевых установок, разработанных в Международном центре электроннолучевых технологий Института электросварки им. Е. О. Патона и предназначенных для получения материалов и покрытий путем электронно-лучевого испарения и последующей конденсации в вакууме. Рассмотрены пути дальнейшего развития и совершенствования электронно-лучевого оборудования, связанные с внедрением новых технологических процессов в машиностроении.
format Article
author Мовчан, Б.А.
Яковчук, К.Ю.
author_facet Мовчан, Б.А.
Яковчук, К.Ю.
author_sort Мовчан, Б.А.
title Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий
title_short Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий
title_full Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий
title_fullStr Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий
title_full_unstemmed Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий
title_sort электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий
publisher Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
publishDate 2004
topic_facet Электронно-лучевые процессы
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/95079
citation_txt Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий / Б.А. Мовчан, К.Ю. Яковчук // Современная электрометаллургия. — 2004. — № 2 (75). — С. 10-15. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
series Современная электрометаллургия
work_keys_str_mv AT movčanba élektronnolučevyeustanovkidlâispareniâiosaždeniâneorganičeskihmaterialovipokrytij
AT âkovčukkû élektronnolučevyeustanovkidlâispareniâiosaždeniâneorganičeskihmaterialovipokrytij
first_indexed 2023-10-18T19:52:25Z
last_indexed 2023-10-18T19:52:25Z
_version_ 1796148144725032960