Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий
Представлены технические характеристики и конструктивные особенности электронно-лучевых установок, разработанных в Международном центре электроннолучевых технологий Института электросварки им. Е. О. Патона и предназначенных для получения материалов и покрытий путем электронно-лучевого испарения и по...
Збережено в:
Дата: | 2004 |
---|---|
Автори: | , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
2004
|
Назва видання: | Современная электрометаллургия |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/95079 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий / Б.А. Мовчан, К.Ю. Яковчук // Современная электрометаллургия. — 2004. — № 2 (75). — С. 10-15. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-95079 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-950792016-02-14T03:02:10Z Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий Мовчан, Б.А. Яковчук, К.Ю. Электронно-лучевые процессы Представлены технические характеристики и конструктивные особенности электронно-лучевых установок, разработанных в Международном центре электроннолучевых технологий Института электросварки им. Е. О. Патона и предназначенных для получения материалов и покрытий путем электронно-лучевого испарения и последующей конденсации в вакууме. Рассмотрены пути дальнейшего развития и совершенствования электронно-лучевого оборудования, связанные с внедрением новых технологических процессов в машиностроении. 2004 Article Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий / Б.А. Мовчан, К.Ю. Яковчук // Современная электрометаллургия. — 2004. — № 2 (75). — С. 10-15. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. 0233-7681 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/95079 ru Современная электрометаллургия Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
topic |
Электронно-лучевые процессы Электронно-лучевые процессы |
spellingShingle |
Электронно-лучевые процессы Электронно-лучевые процессы Мовчан, Б.А. Яковчук, К.Ю. Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий Современная электрометаллургия |
description |
Представлены технические характеристики и конструктивные особенности электронно-лучевых установок, разработанных в Международном центре электроннолучевых технологий Института электросварки им. Е. О. Патона и предназначенных для получения материалов и покрытий путем электронно-лучевого испарения и последующей конденсации в вакууме. Рассмотрены пути дальнейшего развития и совершенствования электронно-лучевого оборудования, связанные с внедрением новых технологических процессов в машиностроении. |
format |
Article |
author |
Мовчан, Б.А. Яковчук, К.Ю. |
author_facet |
Мовчан, Б.А. Яковчук, К.Ю. |
author_sort |
Мовчан, Б.А. |
title |
Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий |
title_short |
Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий |
title_full |
Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий |
title_fullStr |
Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий |
title_full_unstemmed |
Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий |
title_sort |
электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий |
publisher |
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України |
publishDate |
2004 |
topic_facet |
Электронно-лучевые процессы |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/95079 |
citation_txt |
Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий / Б.А. Мовчан, К.Ю. Яковчук // Современная электрометаллургия. — 2004. — № 2 (75). — С. 10-15. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
series |
Современная электрометаллургия |
work_keys_str_mv |
AT movčanba élektronnolučevyeustanovkidlâispareniâiosaždeniâneorganičeskihmaterialovipokrytij AT âkovčukkû élektronnolučevyeustanovkidlâispareniâiosaždeniâneorganičeskihmaterialovipokrytij |
first_indexed |
2023-10-18T19:52:25Z |
last_indexed |
2023-10-18T19:52:25Z |
_version_ |
1796148144725032960 |