Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии
Исследован процесс выращивания монокристаллов кремния способом индукционной бестигельной зонной плавки с применением подогревающего индуктора. При помощи математического моделирования установлены параметры электромагнитного поля подогревающего индуктора и определены условия, при которых электромагни...
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
2009
|
| Назва видання: | Современная электрометаллургия |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/96009 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии / С.Г. Егоров, И.Ф. Червоный, Р.Н. Воляр // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 36-39. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-96009 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-960092016-03-09T03:02:25Z Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии Егоров, С.Г. Червоный, И.Ф. Воляр, Р.Н. Вакуумно-индукционная плавка Исследован процесс выращивания монокристаллов кремния способом индукционной бестигельной зонной плавки с применением подогревающего индуктора. При помощи математического моделирования установлены параметры электромагнитного поля подогревающего индуктора и определены условия, при которых электромагнитное поле подогревающего индуктора оказывает влияние на условия выращивания монокристаллов. Process of growing single crystals of silicon by the method of induction crucible-free zonal melting with use of preheating inductor was investigated. Using the mathematical modeling, the parameters of electromagnetic field of phreheating inductor were established and conditions, at which the electromagnetic field of preheating inductor has an influence on the conditions of single crystal growing, were defined. 2009 Article Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии / С.Г. Егоров, И.Ф. Червоный, Р.Н. Воляр // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 36-39. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 0233-7681 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/96009 669.187.58 ru Современная электрометаллургия Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Вакуумно-индукционная плавка Вакуумно-индукционная плавка |
| spellingShingle |
Вакуумно-индукционная плавка Вакуумно-индукционная плавка Егоров, С.Г. Червоный, И.Ф. Воляр, Р.Н. Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии Современная электрометаллургия |
| description |
Исследован процесс выращивания монокристаллов кремния способом индукционной бестигельной зонной плавки с применением подогревающего индуктора. При помощи математического моделирования установлены параметры электромагнитного поля подогревающего индуктора и определены условия, при которых электромагнитное поле подогревающего индуктора оказывает влияние на условия выращивания монокристаллов. |
| format |
Article |
| author |
Егоров, С.Г. Червоный, И.Ф. Воляр, Р.Н. |
| author_facet |
Егоров, С.Г. Червоный, И.Ф. Воляр, Р.Н. |
| author_sort |
Егоров, С.Г. |
| title |
Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии |
| title_short |
Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии |
| title_full |
Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии |
| title_fullStr |
Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии |
| title_full_unstemmed |
Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии |
| title_sort |
математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии |
| publisher |
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України |
| publishDate |
2009 |
| topic_facet |
Вакуумно-индукционная плавка |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/96009 |
| citation_txt |
Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии / С.Г. Егоров, И.Ф. Червоный, Р.Н. Воляр // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 36-39. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| series |
Современная электрометаллургия |
| work_keys_str_mv |
AT egorovsg matematičeskaâmodelʹvliâniâpolâinduktoranakoéfficientraspredeleniâprimesivkremnii AT červonyjif matematičeskaâmodelʹvliâniâpolâinduktoranakoéfficientraspredeleniâprimesivkremnii AT volârrn matematičeskaâmodelʹvliâniâpolâinduktoranakoéfficientraspredeleniâprimesivkremnii |
| first_indexed |
2023-10-18T19:54:23Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:54:23Z |
| _version_ |
1796148233475457024 |