Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии

Исследован процесс выращивания монокристаллов кремния способом индукционной бестигельной зонной плавки с применением подогревающего индуктора. При помощи математического моделирования установлены параметры электромагнитного поля подогревающего индуктора и определены условия, при которых электромагни...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Видавець:Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
Дата:2009
Автори: Егоров, С.Г., Червоный, И.Ф., Воляр, Р.Н.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2009
Назва видання:Современная электрометаллургия
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/96009
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Цитувати:Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии / С.Г. Егоров, И.Ф. Червоный, Р.Н. Воляр // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 36-39. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine