Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках
Нами предложен метод оценки величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в плазменной технологической установке, прямые измерения которого затруднены. Метод основан на измерении координат точки поворота на кривой зажигания ВЧ разряда и использовании известных значений дрейфовой скорости элек...
Збережено в:
| Видавець: | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
|---|---|
| Дата: | 2005 |
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2005
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98726 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Цитувати: | Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках / В. Лисовский, Ж.П. Бут, K. Ландри, Д. Дуэ, Г. Ренар, В. Касань // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1-2. — С. 70–78. — Бібліогр.: 21 назв. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-98726 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-987262016-04-18T03:02:04Z Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках Лисовский, В. Бут, Ж.П. Ландри, K. Дуэ, Д. Ренар, Г. Касань, В. Нами предложен метод оценки величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в плазменной технологической установке, прямые измерения которого затруднены. Метод основан на измерении координат точки поворота на кривой зажигания ВЧ разряда и использовании известных значений дрейфовой скорости электронов в газе. Полученные с помощью нашего метода результаты близки к данным прямых измерений ВЧ напряжения на потенциальном электроде, а также позволяют получить разумные с физической точки результаты (совпадение правых ветвей кривых зажигания ВЧ разряда для разных частот), согласующиеся с результатами других работ. We propose a technique for evaluating the RF potential at the driven electrode in a technological gas-discharge device where the direct measurements are impeded. The technique is based on registering the coordinates of the turning point at the RF discharge breakdown curve and using the well-known values of the electron drift velocity in a gas. The results we obtained with our technique are close to the data of direct measuring of the RF potential at the driven electrode, and they also permit to get the results reasonable from the physical point of view (coincidence of right-hand branches of RF discharge breakdown curves for different frequencies), in agreement with the results of other papers. Нами запропонований метод оцінки величини ВЧ напруги на потенційному електроді в плазмовій технологічній установці, прямі виміри якого затруднені. Метод заснований на вимірі координат точок повороту на кривій запалювання ВЧ розряду і використанні відо-мих значень дрейфової швидкості електронів у газі. Отримані за допомогою нашого методу результати близькі до даних прямих вимірів ВЧ напруги на потенційному електроді, а також дозволяють одержати розумні з фізичної точки результати (збіг правих галузей кривих запалювання ВЧ розряду для різних частот), що погоджуються з результатами інших робіт. 2005 Article Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках / В. Лисовский, Ж.П. Бут, K. Ландри, Д. Дуэ, Г. Ренар, В. Касань // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1-2. — С. 70–78. — Бібліогр.: 21 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98726 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Нами предложен метод оценки величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в
плазменной технологической установке, прямые измерения которого затруднены. Метод
основан на измерении координат точки поворота на кривой зажигания ВЧ разряда и
использовании известных значений дрейфовой скорости электронов в газе. Полученные с
помощью нашего метода результаты близки к данным прямых измерений ВЧ напряжения на
потенциальном электроде, а также позволяют получить разумные с физической точки
результаты (совпадение правых ветвей кривых зажигания ВЧ разряда для разных частот),
согласующиеся с результатами других работ. |
| format |
Article |
| author |
Лисовский, В. Бут, Ж.П. Ландри, K. Дуэ, Д. Ренар, Г. Касань, В. |
| spellingShingle |
Лисовский, В. Бут, Ж.П. Ландри, K. Дуэ, Д. Ренар, Г. Касань, В. Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Лисовский, В. Бут, Ж.П. Ландри, K. Дуэ, Д. Ренар, Г. Касань, В. |
| author_sort |
Лисовский, В. |
| title |
Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках |
| title_short |
Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках |
| title_full |
Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках |
| title_fullStr |
Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках |
| title_full_unstemmed |
Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках |
| title_sort |
определение величины вч напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2005 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98726 |
| citation_txt |
Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках / В. Лисовский, Ж.П. Бут, K. Ландри, Д. Дуэ, Г. Ренар, В. Касань // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1-2. — С. 70–78. — Бібліогр.: 21 назв. — рос. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT lisovskijv opredelenieveličinyvčnaprâženiânapotencialʹnomélektrodevsložnyhtehnologičeskihgazorazrâdnyhustanovkah AT butžp opredelenieveličinyvčnaprâženiânapotencialʹnomélektrodevsložnyhtehnologičeskihgazorazrâdnyhustanovkah AT landrik opredelenieveličinyvčnaprâženiânapotencialʹnomélektrodevsložnyhtehnologičeskihgazorazrâdnyhustanovkah AT duéd opredelenieveličinyvčnaprâženiânapotencialʹnomélektrodevsložnyhtehnologičeskihgazorazrâdnyhustanovkah AT renarg opredelenieveličinyvčnaprâženiânapotencialʹnomélektrodevsložnyhtehnologičeskihgazorazrâdnyhustanovkah AT kasanʹv opredelenieveličinyvčnaprâženiânapotencialʹnomélektrodevsložnyhtehnologičeskihgazorazrâdnyhustanovkah |
| first_indexed |
2023-10-18T20:00:25Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:00:25Z |
| _version_ |
1796148503166058496 |