Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках
Нами предложен метод оценки величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в плазменной технологической установке, прямые измерения которого затруднены. Метод основан на измерении координат точки поворота на кривой зажигания ВЧ разряда и использовании известных значений дрейфовой скорости элек...
Збережено в:
Видавець: | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
---|---|
Дата: | 2005 |
Автори: | Лисовский, В., Бут, Ж.П., Ландри, K., Дуэ, Д., Ренар, Г., Касань, В. |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2005
|
Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98726 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Цитувати: | Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках / В. Лисовский, Ж.П. Бут, K. Ландри, Д. Дуэ, Г. Ренар, В. Касань // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1-2. — С. 70–78. — Бібліогр.: 21 назв. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
-
Плазменная очистка технологических камер в высокочастотном емкостном разряде
за авторством: Лисовский, В., та інші
Опубліковано: (2004) -
О расширении технологических возможностей современных газоразрядных электронно-лучевых пушек
за авторством: Мельник, В.И., та інші
Опубліковано: (2015) -
Использование параллельных вычислений для моделирования технологических газоразрядных источников электронов
за авторством: Мельник, И.В., та інші
Опубліковано: (2016) -
Нанокристаллические покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом с использованием ВЧ напряжения
за авторством: Турбин, П.В., та інші
Опубліковано: (2006) -
Исследование влияния величины напряжения на электромагнитные параметры катушки из ферромагнитного проводника
за авторством: Вербовой, А.П., та інші
Опубліковано: (2003)