2025-02-24T06:33:08-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-98787%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-24T06:33:08-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-98787%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-24T06:33:08-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-24T06:33:08-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Формирование пучка нейтральных атомов для сухого травления и исследование его характеристик

Формирование пучка нейтральных атомов для сухого травления и исследование его характеристик

При ионно-лучевом травлении диэлектрических образцов через маску субмикронных размеров зарядка поверхности вызывает искривление траектории ионов, что в конечном итоге делает невозможным получение более мелких микроструктур. В данной работе в качестве инструмента для сухого травления предлагается...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Возный, А.В., Ям, Дж.Ю., Кропотов, А.Ю., Фареник, В.И.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2006
Series:Физическая инженерия поверхности
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98787
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98787

Similar Items