2025-02-23T16:03:31-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-98811%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T16:03:31-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-98811%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T16:03:31-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T16:03:31-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Травление поверхности металлов в плазме аргона

Травление поверхности металлов в плазме аргона

Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Капустин, В.Л., Корж, А.Ф., Широков, Б.М.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2007
Series:Физическая инженерия поверхности
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98811
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98811

Similar Items