Травление поверхности металлов в плазме аргона

Травление поверхности металлов в плазме аргона

Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2007
Hauptverfasser: Капустин, В.Л., Корж, А.Ф., Широков, Б.М.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2007
Schriftenreihe:Физическая инженерия поверхности
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98811
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, А.Ф. Корж, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 84–86. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Beschreibung
Zusammenfassung:Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке.

Ähnliche Einträge