Травление поверхности металлов в плазме аргона

Травление поверхности металлов в плазме аргона

Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке....

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2007
Автори: Капустин, В.Л., Корж, А.Ф., Широков, Б.М.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2007
Назва видання:Физическая инженерия поверхности
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98811
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, А.Ф. Корж, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 84–86. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-98811
record_format dspace
spelling irk-123456789-988112016-04-18T03:03:04Z Травление поверхности металлов в плазме аргона Капустин, В.Л. Корж, А.Ф. Широков, Б.М. Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке. Досліджено процес обробки поверхні металів в несамостійнім індукційнім розряді аргону. Визначена залежність швидкості травлення Мо, W, Та, сталі Х18Н10Т від тиску в камері, вкладеної у розряд потужності потенціалу на підкладинці. The treatment process of a metals surface in the dependent high-frequency induction discharge of argon is investigated. The dependenct of an etching velocity of Mo, W, Ta, and steel O18I10O from a chamber pressure in the induction discharge power and a potential on substrate is determined. 2007 Article Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, А.Ф. Корж, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 84–86. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98811 621.793.14 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке.
format Article
author Капустин, В.Л.
Корж, А.Ф.
Широков, Б.М.
spellingShingle Капустин, В.Л.
Корж, А.Ф.
Широков, Б.М.
Травление поверхности металлов в плазме аргона
Физическая инженерия поверхности
author_facet Капустин, В.Л.
Корж, А.Ф.
Широков, Б.М.
author_sort Капустин, В.Л.
title Травление поверхности металлов в плазме аргона
title_short Травление поверхности металлов в плазме аргона
title_full Травление поверхности металлов в плазме аргона
title_fullStr Травление поверхности металлов в плазме аргона
title_full_unstemmed Травление поверхности металлов в плазме аргона
title_sort травление поверхности металлов в плазме аргона
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2007
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98811
citation_txt Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, А.Ф. Корж, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 84–86. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.
series Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv AT kapustinvl travleniepoverhnostimetallovvplazmeargona
AT koržaf travleniepoverhnostimetallovvplazmeargona
AT širokovbm travleniepoverhnostimetallovvplazmeargona
first_indexed 2023-10-18T20:00:34Z
last_indexed 2023-10-18T20:00:34Z
_version_ 1796148510385504256

Схожі ресурси