2025-02-23T19:05:17-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-98811%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T19:05:17-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-98811%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T19:05:17-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T19:05:17-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Травление поверхности металлов в плазме аргона
Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке....
Saved in:
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2007
|
| Series: | Физическая инженерия поверхности |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98811 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| id |
irk-123456789-98811 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-988112016-04-18T03:03:04Z Травление поверхности металлов в плазме аргона Капустин, В.Л. Корж, А.Ф. Широков, Б.М. Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке. Досліджено процес обробки поверхні металів в несамостійнім індукційнім розряді аргону. Визначена залежність швидкості травлення Мо, W, Та, сталі Х18Н10Т від тиску в камері, вкладеної у розряд потужності потенціалу на підкладинці. The treatment process of a metals surface in the dependent high-frequency induction discharge of argon is investigated. The dependenct of an etching velocity of Mo, W, Ta, and steel O18I10O from a chamber pressure in the induction discharge power and a potential on substrate is determined. 2007 Article Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, А.Ф. Корж, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 84–86. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98811 621.793.14 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном
индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали
Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке. |
| format |
Article |
| author |
Капустин, В.Л. Корж, А.Ф. Широков, Б.М. |
| spellingShingle |
Капустин, В.Л. Корж, А.Ф. Широков, Б.М. Травление поверхности металлов в плазме аргона Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Капустин, В.Л. Корж, А.Ф. Широков, Б.М. |
| author_sort |
Капустин, В.Л. |
| title |
Травление поверхности металлов в плазме аргона |
| title_short |
Травление поверхности металлов в плазме аргона |
| title_full |
Травление поверхности металлов в плазме аргона |
| title_fullStr |
Травление поверхности металлов в плазме аргона |
| title_full_unstemmed |
Травление поверхности металлов в плазме аргона |
| title_sort |
травление поверхности металлов в плазме аргона |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2007 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98811 |
| citation_txt |
Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, А.Ф. Корж, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 84–86. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT kapustinvl travleniepoverhnostimetallovvplazmeargona AT koržaf travleniepoverhnostimetallovvplazmeargona AT širokovbm travleniepoverhnostimetallovvplazmeargona |
| first_indexed |
2023-10-18T20:00:34Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:00:34Z |
| _version_ |
1796148510385504256 |