Травление поверхности металлов в плазме аргона
Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке....
Gespeichert in:
| Datum: | 2007 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2007
|
| Schriftenreihe: | Физическая инженерия поверхности |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98811 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, А.Ф. Корж, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 84–86. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |