2025-02-23T16:05:46-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-98840%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T16:05:46-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-98840%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T16:05:46-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T16:05:46-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Нанокристаллические алмазные CDV-пленки: структура, свойства и перспективы применения

Представлен обзор литературы, посвященной синтезу нанокристаллических алмазных пленок методом газофазного химического осаждения. Обсуждаются основные приемы, которые позволяют ограничивать размер зерен растущих кристаллитов в алмазных пленках. К ним можно отнести предварительную обработку поверхно...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Выровец, И.И., Грицына, В.И., Дудник, С.Ф., Опалев, О.А., Решетняк, Е.Н., Стрельницкий, В.Е.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2010
Series:Физическая инженерия поверхности
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98840
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!