Установка AVINIT для нанесення багатошарових функціональних покриттів

• Datum: 2010
• Hauptverfasser: Сагалович, А.В., Кононихін, А.В., Попов, В.В., Дуднік, C.Ф., Сагалович, В.В.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainian
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2010
• Schriftenreihe: Физическая инженерия поверхности
• Online Zugang: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98914
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Установка AVINIT для нанесення багатошарових функціональних покриттів / А.В. Сагалович, А.В. Кононихін, В.В. Попов, C.Ф. Дуднік, В.В. Сагалович // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 4. — С. 336–347. — Бібліогр.: 6 назв. — укр.

Для нанесення функціональних багатошарових композиційних покриттів розроблено і створено експериментально-технологічне обладнання – автоматизована система AVINIT, яка дозволяє реалізувати комплексні методи нанесення покриттів (плазмохімічні CVD, вакуум-плазмові PVD (вакуум-дугові, магнетронні), п...