Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
Saved in:
| Date: | 2003 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2003
|
| Series: | Физическая инженерия поверхности |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101838 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация / В.А. Белоус, В.И Лапшин, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос. |