Влияние состава газовой фазы и тока тлеющего разряда на кинетику роста легированных азотом наноструктурных алмазных покритий
Приведены экспериментальные результаты исследования влияния величины тока разряда и состава газовой фазы с относительно низким содержанием аргона на кинетику процесса синтеза в плазме тлеющего разряда легированных азотом наноструктурных алмазных покрытий. Показано, что, при введении азота в газовую...
Saved in:
| Date: | 2012 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2012
|
| Series: | Физическая инженерия поверхности |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101867 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Влияние состава газовой фазы и тока тлеющего разряда на кинетику роста легированных азотом наноструктурных алмазных покритий / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 4. — С. 328-335. — Бібліогр.: 27 назв. — рос. |