Влияние способа нанесения вакуумно-дуговых TiN покрытий на их газовыделение в вакууме при высоких температурах
Изучен процесс газовыделения в вакууме из покрытий нитрида титана, нанесенных на подложки из нержавеющей стали (SS) при помощи двух различных технологий: с подачей высоковольтных импульсов отрицательной полярности и без таковых. Вивчено процес газовиділення у вакуумі з покриттів нітриду титану, нане...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2009 |
| Hauptverfasser: | , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101952 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Влияние способа нанесения вакуумно-дуговых TiN покрытий на их газовыделение в вакууме при высоких температурах / Г.П. Глазунов, А.А. Андреев, Д.П. Барон, В.М. Шулаев, В.А. Столбовой, В.Я. Чернышенко // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 4. — С. 341-346 . — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |