Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2014
• Main Authors: Хороших, В.М., Леонов, С.А., Белоус, В.А., Василенко, Р.Л., Колодий, И.В., Куприн, А.С., Тихоновский, М.А., Толмачева, Г.Н.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2014
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/102620
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги / В.М. Хороших, С.А. Леонов, В.А. Белоус, Р.Л. Василенко, И.В. Колодий, А.С. Куприн, М.А. Тихоновский, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 1. — С. 45-56. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Исследуются покрытия ZrN, получаемые осаждением потоков плазмы вакуумной дуги. Приведены результаты исследований влияния давления азота и потенциала подложки на скорость осаждения покрытий, их механические свойства, а также на структуру и фазовый состав. В области давлений 0,2—6,65 Па наблюдается су...