Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги
Исследуются покрытия ZrN, получаемые осаждением потоков плазмы вакуумной дуги. Приведены результаты исследований влияния давления азота и потенциала подложки на скорость осаждения покрытий, их механические свойства, а также на структуру и фазовый состав. В области давлений 0,2—6,65 Па наблюдается су...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2014 |
| Main Authors: | , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2014
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/102620 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги / В.М. Хороших, С.А. Леонов, В.А. Белоус, Р.Л. Василенко, И.В. Колодий, А.С. Куприн, М.А. Тихоновский, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 1. — С. 45-56. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |