Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги
Исследуются покрытия ZrN, получаемые осаждением потоков плазмы вакуумной дуги. Приведены результаты исследований влияния давления азота и потенциала подложки на скорость осаждения покрытий, их механические свойства, а также на структуру и фазовый состав. В области давлений 0,2—6,65 Па наблюдается су...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2014 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2014
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/102620 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги / В.М. Хороших, С.А. Леонов, В.А. Белоус, Р.Л. Василенко, И.В. Колодий, А.С. Куприн, М.А. Тихоновский, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 1. — С. 45-56. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862643023717859328 |
|---|---|
| author | Хороших, В.М. Леонов, С.А. Белоус, В.А. Василенко, Р.Л. Колодий, И.В. Куприн, А.С. Тихоновский, М.А. Толмачева, Г.Н. |
| author_facet | Хороших, В.М. Леонов, С.А. Белоус, В.А. Василенко, Р.Л. Колодий, И.В. Куприн, А.С. Тихоновский, М.А. Толмачева, Г.Н. |
| citation_txt | Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги / В.М. Хороших, С.А. Леонов, В.А. Белоус, Р.Л. Василенко, И.В. Колодий, А.С. Куприн, М.А. Тихоновский, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 1. — С. 45-56. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | Исследуются покрытия ZrN, получаемые осаждением потоков плазмы вакуумной дуги. Приведены результаты исследований влияния давления азота и потенциала подложки на скорость осаждения покрытий, их механические свойства, а также на структуру и фазовый состав. В области давлений 0,2—6,65 Па наблюдается существенное повышение скорости осаждения покрытий, обусловленное торможением электронного компонента плазмы при столкновениях с молекулами азота. Покрытия обладают высокими значениями нанотвердости (до 30 ГПа) и модуля Юнга (до 400 ГПа). При увеличении давления азота в покрытии реализуется двухфазное состояние — наряду с кубическим нитридом циркония стехиометрического (или даже сверхстехиометрического состава) в покрытии присутствует рентгеноаморфный нитрид, которому приписывают состав Zr₃N₄.
Досліджуються покриття ZrN, що отримуються осадженням потоків плазми вакуумної дуги. Приведені результати досліджень впливу тиску азоту і потенціалу підкладки на швидкість осадження покриттів, їх механічні властивості, а також на структуру і фазовий склад. В області тиску 0,2—6,65 Па спостерігається істотне підвищення швидкості осадження покриттів, обумовлене гальмуванням електронного компоненту плазми при зіткненнях з молекулами азоту. Покриття володіють високими значеннями нанотвердості (до 30 ГПа) і модуля Юнга (до 400 ГПа). При збільшенні тиску азоту в покритті реалізується двофазний стан — разом з кубічним нітридом цирконію стехіометричного (або навіть сверхстехіометричного складу) в покритті присутній рентгеноаморфний нітрид, якому приписують склад Zr₃N₄.
ZrN coatings received by deposition of vacuum arc plasma fluxes are investigated. Results of researches of influence of nitrogen pressure and substrate potential for coatings deposition rate, their mechanical properties, and also on structure and phase structure are given. In pressures area of 0,2—6,65 Pa are observed substantial increase of coatings deposition rate, conditioned braking of electronic component of plasma at collisions with the molecules of nitrogen. Coatings possess the high values of nanohardness (≈30 GPa) and Young’s modulus (≈400 GPa). At the increase of nitrogen pressure the diphasic state in coatings will be realized — along with cube stoichiometrical ZrN (or even superstoichiometrical composition) X-ray amorphous zirconium nitride which composition Zr₃N₄ is added is present in coating.
|
| first_indexed | 2025-12-01T07:20:43Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-102620 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-01T07:20:43Z |
| publishDate | 2014 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Хороших, В.М. Леонов, С.А. Белоус, В.А. Василенко, Р.Л. Колодий, И.В. Куприн, А.С. Тихоновский, М.А. Толмачева, Г.Н. 2016-06-12T04:53:27Z 2016-06-12T04:53:27Z 2014 Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги / В.М. Хороших, С.А. Леонов, В.А. Белоус, Р.Л. Василенко, И.В. Колодий, А.С. Куприн, М.А. Тихоновский, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 1. — С. 45-56. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/102620 537.525.5 Исследуются покрытия ZrN, получаемые осаждением потоков плазмы вакуумной дуги. Приведены результаты исследований влияния давления азота и потенциала подложки на скорость осаждения покрытий, их механические свойства, а также на структуру и фазовый состав. В области давлений 0,2—6,65 Па наблюдается существенное повышение скорости осаждения покрытий, обусловленное торможением электронного компонента плазмы при столкновениях с молекулами азота. Покрытия обладают высокими значениями нанотвердости (до 30 ГПа) и модуля Юнга (до 400 ГПа). При увеличении давления азота в покрытии реализуется двухфазное состояние — наряду с кубическим нитридом циркония стехиометрического (или даже сверхстехиометрического состава) в покрытии присутствует рентгеноаморфный нитрид, которому приписывают состав Zr₃N₄. Досліджуються покриття ZrN, що отримуються осадженням потоків плазми вакуумної дуги. Приведені результати досліджень впливу тиску азоту і потенціалу підкладки на швидкість осадження покриттів, їх механічні властивості, а також на структуру і фазовий склад. В області тиску 0,2—6,65 Па спостерігається істотне підвищення швидкості осадження покриттів, обумовлене гальмуванням електронного компоненту плазми при зіткненнях з молекулами азоту. Покриття володіють високими значеннями нанотвердості (до 30 ГПа) і модуля Юнга (до 400 ГПа). При збільшенні тиску азоту в покритті реалізується двофазний стан — разом з кубічним нітридом цирконію стехіометричного (або навіть сверхстехіометричного складу) в покритті присутній рентгеноаморфний нітрид, якому приписують склад Zr₃N₄. ZrN coatings received by deposition of vacuum arc plasma fluxes are investigated. Results of researches of influence of nitrogen pressure and substrate potential for coatings deposition rate, their mechanical properties, and also on structure and phase structure are given. In pressures area of 0,2—6,65 Pa are observed substantial increase of coatings deposition rate, conditioned braking of electronic component of plasma at collisions with the molecules of nitrogen. Coatings possess the high values of nanohardness (≈30 GPa) and Young’s modulus (≈400 GPa). At the increase of nitrogen pressure the diphasic state in coatings will be realized — along with cube stoichiometrical ZrN (or even superstoichiometrical composition) X-ray amorphous zirconium nitride which composition Zr₃N₄ is added is present in coating. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги Структура і механічні властивості покриттів ZrN, отримуваних осадженням потоків плазми вакуумної дуги Structure and mechanical properties of ZrN coatings formed by deposition of vacuum arc plasma fluxes Article published earlier |
| spellingShingle | Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги Хороших, В.М. Леонов, С.А. Белоус, В.А. Василенко, Р.Л. Колодий, И.В. Куприн, А.С. Тихоновский, М.А. Толмачева, Г.Н. |
| title | Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги |
| title_alt | Структура і механічні властивості покриттів ZrN, отримуваних осадженням потоків плазми вакуумної дуги Structure and mechanical properties of ZrN coatings formed by deposition of vacuum arc plasma fluxes |
| title_full | Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги |
| title_fullStr | Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги |
| title_full_unstemmed | Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги |
| title_short | Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги |
| title_sort | структура и механические свойства покрытий zrn, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/102620 |
| work_keys_str_mv | AT horošihvm strukturaimehaničeskiesvoistvapokrytiizrnpolučaemyhosaždeniempotokovplazmyvakuumnoidugi AT leonovsa strukturaimehaničeskiesvoistvapokrytiizrnpolučaemyhosaždeniempotokovplazmyvakuumnoidugi AT belousva strukturaimehaničeskiesvoistvapokrytiizrnpolučaemyhosaždeniempotokovplazmyvakuumnoidugi AT vasilenkorl strukturaimehaničeskiesvoistvapokrytiizrnpolučaemyhosaždeniempotokovplazmyvakuumnoidugi AT kolodiiiv strukturaimehaničeskiesvoistvapokrytiizrnpolučaemyhosaždeniempotokovplazmyvakuumnoidugi AT kuprinas strukturaimehaničeskiesvoistvapokrytiizrnpolučaemyhosaždeniempotokovplazmyvakuumnoidugi AT tihonovskiima strukturaimehaničeskiesvoistvapokrytiizrnpolučaemyhosaždeniempotokovplazmyvakuumnoidugi AT tolmačevagn strukturaimehaničeskiesvoistvapokrytiizrnpolučaemyhosaždeniempotokovplazmyvakuumnoidugi AT horošihvm strukturaímehaníčnívlastivostípokrittívzrnotrimuvanihosadžennâmpotokívplazmivakuumnoídugi AT leonovsa strukturaímehaníčnívlastivostípokrittívzrnotrimuvanihosadžennâmpotokívplazmivakuumnoídugi AT belousva strukturaímehaníčnívlastivostípokrittívzrnotrimuvanihosadžennâmpotokívplazmivakuumnoídugi AT vasilenkorl strukturaímehaníčnívlastivostípokrittívzrnotrimuvanihosadžennâmpotokívplazmivakuumnoídugi AT kolodiiiv strukturaímehaníčnívlastivostípokrittívzrnotrimuvanihosadžennâmpotokívplazmivakuumnoídugi AT kuprinas strukturaímehaníčnívlastivostípokrittívzrnotrimuvanihosadžennâmpotokívplazmivakuumnoídugi AT tihonovskiima strukturaímehaníčnívlastivostípokrittívzrnotrimuvanihosadžennâmpotokívplazmivakuumnoídugi AT tolmačevagn strukturaímehaníčnívlastivostípokrittívzrnotrimuvanihosadžennâmpotokívplazmivakuumnoídugi AT horošihvm structureandmechanicalpropertiesofzrncoatingsformedbydepositionofvacuumarcplasmafluxes AT leonovsa structureandmechanicalpropertiesofzrncoatingsformedbydepositionofvacuumarcplasmafluxes AT belousva structureandmechanicalpropertiesofzrncoatingsformedbydepositionofvacuumarcplasmafluxes AT vasilenkorl structureandmechanicalpropertiesofzrncoatingsformedbydepositionofvacuumarcplasmafluxes AT kolodiiiv structureandmechanicalpropertiesofzrncoatingsformedbydepositionofvacuumarcplasmafluxes AT kuprinas structureandmechanicalpropertiesofzrncoatingsformedbydepositionofvacuumarcplasmafluxes AT tihonovskiima structureandmechanicalpropertiesofzrncoatingsformedbydepositionofvacuumarcplasmafluxes AT tolmačevagn structureandmechanicalpropertiesofzrncoatingsformedbydepositionofvacuumarcplasmafluxes |