Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги

Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги

Исследуются покрытия ZrN, получаемые осаждением потоков плазмы вакуумной дуги. Приведены результаты исследований влияния давления азота и потенциала подложки на скорость осаждения покрытий, их механические свойства, а также на структуру и фазовый состав. В области давлений 0,2—6,65 Па наблюдается су...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Физическая инженерия поверхности
Date:2014
Main Authors: Хороших, В.М., Леонов, С.А., Белоус, В.А., Василенко, Р.Л., Колодий, И.В., Куприн, А.С., Тихоновский, М.А., Толмачева, Г.Н.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2014
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/102620
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги / В.М. Хороших, С.А. Леонов, В.А. Белоус, Р.Л. Василенко, И.В. Колодий, А.С. Куприн, М.А. Тихоновский, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 1. — С. 45-56. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-102620
record_format dspace
spelling Хороших, В.М.
Леонов, С.А.
Белоус, В.А.
Василенко, Р.Л.
Колодий, И.В.
Куприн, А.С.
Тихоновский, М.А.
Толмачева, Г.Н.
2016-06-12T04:53:27Z
2016-06-12T04:53:27Z
2014
Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги / В.М. Хороших, С.А. Леонов, В.А. Белоус, Р.Л. Василенко, И.В. Колодий, А.С. Куприн, М.А. Тихоновский, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 1. — С. 45-56. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/102620
537.525.5
Исследуются покрытия ZrN, получаемые осаждением потоков плазмы вакуумной дуги. Приведены результаты исследований влияния давления азота и потенциала подложки на скорость осаждения покрытий, их механические свойства, а также на структуру и фазовый состав. В области давлений 0,2—6,65 Па наблюдается существенное повышение скорости осаждения покрытий, обусловленное торможением электронного компонента плазмы при столкновениях с молекулами азота. Покрытия обладают высокими значениями нанотвердости (до 30 ГПа) и модуля Юнга (до 400 ГПа). При увеличении давления азота в покрытии реализуется двухфазное состояние — наряду с кубическим нитридом циркония стехиометрического (или даже сверхстехиометрического состава) в покрытии присутствует рентгеноаморфный нитрид, которому приписывают состав Zr₃N₄.
Досліджуються покриття ZrN, що отримуються осадженням потоків плазми вакуумної дуги. Приведені результати досліджень впливу тиску азоту і потенціалу підкладки на швидкість осадження покриттів, їх механічні властивості, а також на структуру і фазовий склад. В області тиску 0,2—6,65 Па спостерігається істотне підвищення швидкості осадження покриттів, обумовлене гальмуванням електронного компоненту плазми при зіткненнях з молекулами азоту. Покриття володіють високими значеннями нанотвердості (до 30 ГПа) і модуля Юнга (до 400 ГПа). При збільшенні тиску азоту в покритті реалізується двофазний стан — разом з кубічним нітридом цирконію стехіометричного (або навіть сверхстехіометричного складу) в покритті присутній рентгеноаморфний нітрид, якому приписують склад Zr₃N₄.
ZrN coatings received by deposition of vacuum arc plasma fluxes are investigated. Results of researches of influence of nitrogen pressure and substrate potential for coatings deposition rate, their mechanical properties, and also on structure and phase structure are given. In pressures area of 0,2—6,65 Pa are observed substantial increase of coatings deposition rate, conditioned braking of electronic component of plasma at collisions with the molecules of nitrogen. Coatings possess the high values of nanohardness (≈30 GPa) and Young’s modulus (≈400 GPa). At the increase of nitrogen pressure the diphasic state in coatings will be realized — along with cube stoichiometrical ZrN (or even superstoichiometrical composition) X-ray amorphous zirconium nitride which composition Zr₃N₄ is added is present in coating.
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги
Структура і механічні властивості покриттів ZrN, отримуваних осадженням потоків плазми вакуумної дуги
Structure and mechanical properties of ZrN coatings formed by deposition of vacuum arc plasma fluxes
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги
spellingShingle Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги
Хороших, В.М.
Леонов, С.А.
Белоус, В.А.
Василенко, Р.Л.
Колодий, И.В.
Куприн, А.С.
Тихоновский, М.А.
Толмачева, Г.Н.
title_short Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги
title_full Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги
title_fullStr Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги
title_full_unstemmed Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги
title_sort структура и механические свойства покрытий zrn, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги
author Хороших, В.М.
Леонов, С.А.
Белоус, В.А.
Василенко, Р.Л.
Колодий, И.В.
Куприн, А.С.
Тихоновский, М.А.
Толмачева, Г.Н.
author_facet Хороших, В.М.
Леонов, С.А.
Белоус, В.А.
Василенко, Р.Л.
Колодий, И.В.
Куприн, А.С.
Тихоновский, М.А.
Толмачева, Г.Н.
publishDate 2014
language Russian
container_title Физическая инженерия поверхности
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
format Article
title_alt Структура і механічні властивості покриттів ZrN, отримуваних осадженням потоків плазми вакуумної дуги
Structure and mechanical properties of ZrN coatings formed by deposition of vacuum arc plasma fluxes
description Исследуются покрытия ZrN, получаемые осаждением потоков плазмы вакуумной дуги. Приведены результаты исследований влияния давления азота и потенциала подложки на скорость осаждения покрытий, их механические свойства, а также на структуру и фазовый состав. В области давлений 0,2—6,65 Па наблюдается существенное повышение скорости осаждения покрытий, обусловленное торможением электронного компонента плазмы при столкновениях с молекулами азота. Покрытия обладают высокими значениями нанотвердости (до 30 ГПа) и модуля Юнга (до 400 ГПа). При увеличении давления азота в покрытии реализуется двухфазное состояние — наряду с кубическим нитридом циркония стехиометрического (или даже сверхстехиометрического состава) в покрытии присутствует рентгеноаморфный нитрид, которому приписывают состав Zr₃N₄. Досліджуються покриття ZrN, що отримуються осадженням потоків плазми вакуумної дуги. Приведені результати досліджень впливу тиску азоту і потенціалу підкладки на швидкість осадження покриттів, їх механічні властивості, а також на структуру і фазовий склад. В області тиску 0,2—6,65 Па спостерігається істотне підвищення швидкості осадження покриттів, обумовлене гальмуванням електронного компоненту плазми при зіткненнях з молекулами азоту. Покриття володіють високими значеннями нанотвердості (до 30 ГПа) і модуля Юнга (до 400 ГПа). При збільшенні тиску азоту в покритті реалізується двофазний стан — разом з кубічним нітридом цирконію стехіометричного (або навіть сверхстехіометричного складу) в покритті присутній рентгеноаморфний нітрид, якому приписують склад Zr₃N₄. ZrN coatings received by deposition of vacuum arc plasma fluxes are investigated. Results of researches of influence of nitrogen pressure and substrate potential for coatings deposition rate, their mechanical properties, and also on structure and phase structure are given. In pressures area of 0,2—6,65 Pa are observed substantial increase of coatings deposition rate, conditioned braking of electronic component of plasma at collisions with the molecules of nitrogen. Coatings possess the high values of nanohardness (≈30 GPa) and Young’s modulus (≈400 GPa). At the increase of nitrogen pressure the diphasic state in coatings will be realized — along with cube stoichiometrical ZrN (or even superstoichiometrical composition) X-ray amorphous zirconium nitride which composition Zr₃N₄ is added is present in coating.
issn 1999-8074
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/102620
citation_txt Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги / В.М. Хороших, С.А. Леонов, В.А. Белоус, Р.Л. Василенко, И.В. Колодий, А.С. Куприн, М.А. Тихоновский, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 1. — С. 45-56. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT horošihvm strukturaimehaničeskiesvoistvapokrytiizrnpolučaemyhosaždeniempotokovplazmyvakuumnoidugi
AT leonovsa strukturaimehaničeskiesvoistvapokrytiizrnpolučaemyhosaždeniempotokovplazmyvakuumnoidugi
AT belousva strukturaimehaničeskiesvoistvapokrytiizrnpolučaemyhosaždeniempotokovplazmyvakuumnoidugi
AT vasilenkorl strukturaimehaničeskiesvoistvapokrytiizrnpolučaemyhosaždeniempotokovplazmyvakuumnoidugi
AT kolodiiiv strukturaimehaničeskiesvoistvapokrytiizrnpolučaemyhosaždeniempotokovplazmyvakuumnoidugi
AT kuprinas strukturaimehaničeskiesvoistvapokrytiizrnpolučaemyhosaždeniempotokovplazmyvakuumnoidugi
AT tihonovskiima strukturaimehaničeskiesvoistvapokrytiizrnpolučaemyhosaždeniempotokovplazmyvakuumnoidugi
AT tolmačevagn strukturaimehaničeskiesvoistvapokrytiizrnpolučaemyhosaždeniempotokovplazmyvakuumnoidugi
AT horošihvm strukturaímehaníčnívlastivostípokrittívzrnotrimuvanihosadžennâmpotokívplazmivakuumnoídugi
AT leonovsa strukturaímehaníčnívlastivostípokrittívzrnotrimuvanihosadžennâmpotokívplazmivakuumnoídugi
AT belousva strukturaímehaníčnívlastivostípokrittívzrnotrimuvanihosadžennâmpotokívplazmivakuumnoídugi
AT vasilenkorl strukturaímehaníčnívlastivostípokrittívzrnotrimuvanihosadžennâmpotokívplazmivakuumnoídugi
AT kolodiiiv strukturaímehaníčnívlastivostípokrittívzrnotrimuvanihosadžennâmpotokívplazmivakuumnoídugi
AT kuprinas strukturaímehaníčnívlastivostípokrittívzrnotrimuvanihosadžennâmpotokívplazmivakuumnoídugi
AT tihonovskiima strukturaímehaníčnívlastivostípokrittívzrnotrimuvanihosadžennâmpotokívplazmivakuumnoídugi
AT tolmačevagn strukturaímehaníčnívlastivostípokrittívzrnotrimuvanihosadžennâmpotokívplazmivakuumnoídugi
AT horošihvm structureandmechanicalpropertiesofzrncoatingsformedbydepositionofvacuumarcplasmafluxes
AT leonovsa structureandmechanicalpropertiesofzrncoatingsformedbydepositionofvacuumarcplasmafluxes
AT belousva structureandmechanicalpropertiesofzrncoatingsformedbydepositionofvacuumarcplasmafluxes
AT vasilenkorl structureandmechanicalpropertiesofzrncoatingsformedbydepositionofvacuumarcplasmafluxes
AT kolodiiiv structureandmechanicalpropertiesofzrncoatingsformedbydepositionofvacuumarcplasmafluxes
AT kuprinas structureandmechanicalpropertiesofzrncoatingsformedbydepositionofvacuumarcplasmafluxes
AT tihonovskiima structureandmechanicalpropertiesofzrncoatingsformedbydepositionofvacuumarcplasmafluxes
AT tolmačevagn structureandmechanicalpropertiesofzrncoatingsformedbydepositionofvacuumarcplasmafluxes
first_indexed 2025-12-01T07:20:43Z
last_indexed 2025-12-01T07:20:43Z
_version_ 1850859552953597952

Similar Items