Изменение структуры и оптических свойств многослойных рентгеновских зеркал C/Si при нагреве

• Published in: Металлофизика и новейшие технологии
• Date: 2013
• Main Authors: Журавель, И.А., Бугаев, Е.А., Воронов, Д.Л., Кондратенко, В.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2013
• Subjects: Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104170
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Изменение структуры и оптических свойств многослойных рентгеновских зеркал C/Si при нагреве / И.А. Журавель, Е.А. Бугаев, Д.Л. Воронов, В.В. Кондратенко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 7. — С. 981-991. — Бібліогр.: 24 назв. — рос.

Проведено исследование влияния отжига в диапазоне 300—1050°С на структуру и рентгенооптические свойства многослойных наноразмерных рентгеновских зеркал C/Si. Виконано дослідження впливу відпалу в діапазоні 300—1050°С на структуру та рентґенооптичні властивості багатошарових нанорозмірних рентґенівсь...