Изменение структуры и оптических свойств многослойных рентгеновских зеркал C/Si при нагреве
Проведено исследование влияния отжига в диапазоне 300—1050°С на структуру и рентгенооптические свойства многослойных наноразмерных рентгеновских зеркал C/Si. Виконано дослідження впливу відпалу в діапазоні 300—1050°С на структуру та рентґенооптичні властивості багатошарових нанорозмірних рентґенівсь...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Datum: | 2013 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2013
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104170 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Изменение структуры и оптических свойств многослойных рентгеновских зеркал C/Si при нагреве / И.А. Журавель, Е.А. Бугаев, Д.Л. Воронов, В.В. Кондратенко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 7. — С. 981-991. — Бібліогр.: 24 назв. — рос. |