Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb

• Veröffentlicht in: Металлофизика и новейшие технологии
• Datum: 2014
• Hauptverfasser: Макогон, Ю.Н., Павлова, Е.П., Сидоренко, С.И., Беке, Д., Чик, А., Шкарбань, Р.А.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
• Schlagworte: Металлические поверхности и плёнки
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/107072
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb / Ю.Н. Макогон, Е.П. Павлова, С.И. Сидоренко, Д. Беке, А. Чик, Р.А. Шкарбань // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 12. — С. 1621-1634. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.

Исследовано формирование фазового состава и структуры в наноразмерных плёнках CoSbx (30 нм) (1,82 ≤ х ≤ 4,16), осаждённых методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложки окислённого монокристаллического кремния при комнатной температуре и температуре 200°C с последующей термической обработкой в ва...