Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀

• Veröffentlicht in: Физическая инженерия поверхности
• Datum: 2015
• Hauptverfasser: Малеев, М.В., Зубарев, Е.Н., Пуха, В.Е., Дроздов, А.Н., Вус, А.С., Девизенко, А.Ю.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2015
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108648
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀ / М.В. Малеев, Е.Н. Зубарев, В.Е. Пуха, А.Н. Дроздов, А.С. Вус, А.Ю. Девизенко // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 1. — С. 91-104. — Бібліогр.: 40 назв. — рос.

В работе исследованы закономерности роста пленок и эрозии поверхности при облучении мишеней из углерода и кремния пучком ускоренных ионов С₆₀ с энергией в интервале 2,5–24 кэВ при температуре мишеней 373 K. Установлено, что рост углеродных пленок на поверхности облучаемых кремниевых мишеней наблюдае...