Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок

• Date: 2007
• Main Authors: Буданов, В.Е., Суслов, Н.Н., Шубенко, А.Л., Степанов, В.Ю.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України 2007
• Subjects: Прикладная радиофизика
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/10888
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок / В.Е. Буданов, Н.Н. Суслов, А.Л. Шубенко, В.Ю. Степанов // Радіофізика та електроніка. — 2007. — Т. 12, № 3. — С. 610-614. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Исследуется новый волноведущий тракт, состоящий из плоскопараллельного открытого волновода и двух секторных рупоров специальной геометрии, который при использовании его в составе измерительного плеча интерферометра 4-мм диапазона обеспечивает возможность субмикронной разрешающей способности при бес...