Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок

• Date: 2007
• Main Authors: Буданов, В.Е., Суслов, Н.Н., Шубенко, А.Л., Степанов, В.Ю.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України 2007
• Subjects: Прикладная радиофизика
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/10888
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок / В.Е. Буданов, Н.Н. Суслов, А.Л. Шубенко, В.Ю. Степанов // Радіофізика та електроніка. — 2007. — Т. 12, № 3. — С. 610-614. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Исследуется новый волноведущий тракт, состоящий из плоскопараллельного открытого волновода и двух секторных рупоров специальной геометрии, который при использовании его в составе измерительного плеча интерферометра 4-мм диапазона обеспечивает возможность субмикронной разрешающей способности при бесконтактном контроле толщины тонких диэлектрических пленок в процессе их производства. Досліджується запропонований новий хвильоведучий тракт, що складається із плоскопаралельного відкритого хвилеводу і двох секторних рупорів спеціальної геометрії, який при використанні його у складі вимірювального плеча інтерферометра 4-мм діапазону забезпечує можливість субмікронної розрізнювальної здатності при безконтактному контролі товщини тонких діелектричних плівок у процесі їх виробництва. The new wave guiding tract which is consist of the parallel plates of open waveguide and two sector horns of special geometry, which ones are provide in the measuring interferometer's shoulder of an submillimeter resolving capacity in the 4-mm waveband at the contact less thickness dielectric films control during their production is under consideration.