Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок
Исследуется новый волноведущий тракт, состоящий из плоскопараллельного открытого волновода и двух секторных рупоров специальной геометрии, который при использовании его в составе измерительного плеча интерферометра 4-мм диапазона обеспечивает возможность субмикронной разрешающей способности при бес...
Збережено в:
| Дата: | 2007 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України
2007
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/10888 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок / В.Е. Буданов, Н.Н. Суслов, А.Л. Шубенко, В.Ю. Степанов // Радіофізика та електроніка. — 2007. — Т. 12, № 3. — С. 610-614. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-10888 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Буданов, В.Е. Суслов, Н.Н. Шубенко, А.Л. Степанов, В.Ю. 2010-08-09T13:59:59Z 2010-08-09T13:59:59Z 2007 Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок / В.Е. Буданов, Н.Н. Суслов, А.Л. Шубенко, В.Ю. Степанов // Радіофізика та електроніка. — 2007. — Т. 12, № 3. — С. 610-614. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 1028-821X https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/10888 620.179 Исследуется новый волноведущий тракт, состоящий из плоскопараллельного открытого волновода и двух секторных рупоров специальной геометрии, который при использовании его в составе измерительного плеча интерферометра 4-мм диапазона обеспечивает возможность субмикронной разрешающей способности при бесконтактном контроле толщины тонких диэлектрических пленок в процессе их производства. Досліджується запропонований новий хвильоведучий тракт, що складається із плоскопаралельного відкритого хвилеводу і двох секторних рупорів спеціальної геометрії, який при використанні його у складі вимірювального плеча інтерферометра 4-мм діапазону забезпечує можливість субмікронної розрізнювальної здатності при безконтактному контролі товщини тонких діелектричних плівок у процесі їх виробництва. The new wave guiding tract which is consist of the parallel plates of open waveguide and two sector horns of special geometry, which ones are provide in the measuring interferometer's shoulder of an submillimeter resolving capacity in the 4-mm waveband at the contact less thickness dielectric films control during their production is under consideration. ru Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України Прикладная радиофизика Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок Вимірювальне плечо інтерферометру міліметрового діапазону для контролю товщини струнких диелектричних плівок Measuring shoulder of millimeterwaveband interferometer for thickness control of the thin dielectric films Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок |
| spellingShingle |
Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок Буданов, В.Е. Суслов, Н.Н. Шубенко, А.Л. Степанов, В.Ю. Прикладная радиофизика |
| title_short |
Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок |
| title_full |
Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок |
| title_fullStr |
Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок |
| title_full_unstemmed |
Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок |
| title_sort |
измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок |
| author |
Буданов, В.Е. Суслов, Н.Н. Шубенко, А.Л. Степанов, В.Ю. |
| author_facet |
Буданов, В.Е. Суслов, Н.Н. Шубенко, А.Л. Степанов, В.Ю. |
| topic |
Прикладная радиофизика |
| topic_facet |
Прикладная радиофизика |
| publishDate |
2007 |
| language |
Russian |
| publisher |
Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Вимірювальне плечо інтерферометру міліметрового діапазону для контролю товщини струнких диелектричних плівок Measuring shoulder of millimeterwaveband interferometer for thickness control of the thin dielectric films |
| description |
Исследуется новый волноведущий тракт, состоящий из плоскопараллельного открытого волновода и двух секторных рупоров специальной геометрии, который при использовании его в составе измерительного плеча интерферометра 4-мм диапазона
обеспечивает возможность субмикронной разрешающей способности при бесконтактном контроле толщины тонких диэлектрических пленок в процессе их производства.
Досліджується запропонований новий хвильоведучий тракт, що складається із плоскопаралельного відкритого
хвилеводу і двох секторних рупорів спеціальної геометрії,
який при використанні його у складі вимірювального плеча
інтерферометра 4-мм діапазону забезпечує можливість субмікронної розрізнювальної здатності при безконтактному контролі товщини тонких діелектричних плівок у процесі їх виробництва.
The new wave guiding tract which is consist of the parallel plates
of open waveguide and two sector horns of special geometry,
which ones are provide in the measuring interferometer's shoulder
of an submillimeter resolving capacity in the 4-mm waveband at
the contact less thickness dielectric films control during their production
is under consideration.
|
| issn |
1028-821X |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/10888 |
| citation_txt |
Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок / В.Е. Буданов, Н.Н. Суслов, А.Л. Шубенко, В.Ю. Степанов // Радіофізика та електроніка. — 2007. — Т. 12, № 3. — С. 610-614. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT budanovve izmeritelʹnoeplečointerferometramillimetrovogodiapazonadlâkontrolâtolŝinytonkihdiélektričeskihplenok AT suslovnn izmeritelʹnoeplečointerferometramillimetrovogodiapazonadlâkontrolâtolŝinytonkihdiélektričeskihplenok AT šubenkoal izmeritelʹnoeplečointerferometramillimetrovogodiapazonadlâkontrolâtolŝinytonkihdiélektričeskihplenok AT stepanovvû izmeritelʹnoeplečointerferometramillimetrovogodiapazonadlâkontrolâtolŝinytonkihdiélektričeskihplenok AT budanovve vimírûvalʹneplečoínterferometrumílímetrovogodíapazonudlâkontrolûtovŝinistrunkihdielektričnihplívok AT suslovnn vimírûvalʹneplečoínterferometrumílímetrovogodíapazonudlâkontrolûtovŝinistrunkihdielektričnihplívok AT šubenkoal vimírûvalʹneplečoínterferometrumílímetrovogodíapazonudlâkontrolûtovŝinistrunkihdielektričnihplívok AT stepanovvû vimírûvalʹneplečoínterferometrumílímetrovogodíapazonudlâkontrolûtovŝinistrunkihdielektričnihplívok AT budanovve measuringshoulderofmillimeterwavebandinterferometerforthicknesscontrolofthethindielectricfilms AT suslovnn measuringshoulderofmillimeterwavebandinterferometerforthicknesscontrolofthethindielectricfilms AT šubenkoal measuringshoulderofmillimeterwavebandinterferometerforthicknesscontrolofthethindielectricfilms AT stepanovvû measuringshoulderofmillimeterwavebandinterferometerforthicknesscontrolofthethindielectricfilms |
| first_indexed |
2025-12-07T19:02:02Z |
| last_indexed |
2025-12-07T19:02:02Z |
| _version_ |
1850877278117953536 |