Зображення обкладинки

Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок

Исследуется новый волноведущий тракт, состоящий из плоскопараллельного открытого волновода и двух секторных рупоров специальной геометрии, который при использовании его в составе измерительного плеча интерферометра 4-мм диапазона обеспечивает возможность субмикронной разрешающей способности...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2007
Автори:	Буданов, В.Е., Суслов, Н.Н., Шубенко, А.Л., Степанов, В.Ю.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України 2007
Теми:	Прикладная радиофизика
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/10888
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок / В.Е. Буданов, Н.Н. Суслов, А.Л. Шубенко, В.Ю. Степанов // Радіофізика та електроніка. — 2007. — Т. 12, № 3. — С. 610-614. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Обзорный автодинный радиолокатор миллиметрового диапазона
за авторством: Ермак, Г.П., та інші
Опубліковано: (2010)

Магнитный радиоспектроскопический комплекс «КВАРК» миллиметрового диапазона длин волн
за авторством: Недух, С.В.
Опубліковано: (2008)

Контроль биологической эффективности действия электромагнитных полей миллиметрового диапазона
за авторством: Белоус, О.И., та інші
Опубліковано: (2015)

Свойства перестраиваемого волноводно-диэлектрического резонатора миллиметрового диапазона с повышенной добротностью
за авторством: Белоус, Р.И., та інші
Опубліковано: (2015)

ЭПР-спектрометр миллиметрового диапазона для исследования образцов с высокой проводимостью
за авторством: Бeкиров, Б.Э., та інші
Опубліковано: (2013)

Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок
за авторством: Николаенко, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2017)

Изменение электрокинетических показателей ядер клеток буккального эпителия под действием электромагнитных полей миллиметрового диапазона
за авторством: Брюзгинова, Н.В., та інші
Опубліковано: (2017)

Гибкие защитные экраны для СВЧ-диапазона на основе тонких проводящих волокон
за авторством: Кокодий, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2017)

Одномерные обратные задачи электромагнитного зондирования слоистых диэлектрических сред
за авторством: Бровенко, А.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Трехканальные фазометры на основе амплифазометров AD8302 и программируемых логических матриц для гетеродинного интерферометра миллиметрового диапазона
за авторством: Варавин, А.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Частотный детектор оптического диапазона на изотропной структуре
за авторством: Вытовтов, К.А.
Опубліковано: (2014)

Шумовая радиолокация миллиметрового диапазона
за авторством: Лукин, К.А.
Опубліковано: (2008)

Применение низкотемпературных фотоприемников в квазиоптических интерферометрах терагерцевого диапазона
за авторством: Киселёв, В.К., та інші
Опубліковано: (2008)

Квазиоптические радиоизмерительные устройства ближнего миллиметрового и субмиллиметрового диапазонов волн на основе металлодиэлектрического волновода квадратного сечения
за авторством: Безбородов, В.И., та інші
Опубліковано: (2007)

Полупроводниковый когерентный радиолокатор миллиметрового диапазона для контроля наземного движения в аэропортах
за авторством: Мележик, П.Н., та інші
Опубліковано: (2008)

Расчет частотной зависимости диэлектрических характеристик тонких пленок системы HfO₂—Nd₂O₃
за авторством: Казаков, А.И., та інші
Опубліковано: (2003)

Гетеродины аэрономических приемников миллиметрового диапазона
за авторством: Мышенко, В.В., та інші
Опубліковано: (2019)

Многоволновый резонансный клинотрон миллиметрового диапазона
за авторством: Ефимов, Б.П.
Опубліковано: (2007)

Контроль и стабилизация температуры (0,8 300 К) в криодиэлектрометре гигагерцевого диапазона частот
за авторством: Головащенко, Р.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Модель контроля скрытых отказов двухкомпонентной системы с отключением компонентов
за авторством: Обжерин, Ю.Е., та інші
Опубліковано: (2013)

Экспериментальное исследование релятивистского магнетрона миллиметрового диапазона
за авторством: Бердин, С.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Балансный параметрический усилитель миллиметрового диапазона волн
за авторством: Касьяненко, А.П., та інші
Опубліковано: (2000)

Добротность резонансной линии клинотронов миллиметрового диапазона
за авторством: Лысенко, Е.Е., та інші
Опубліковано: (2001)

Метод КВЧ диэлектрометрии для контроля загрязнений водоемов поверхностно активными веществами
за авторством: Щеголева, Т.Ю., та інші
Опубліковано: (2007)

Поглощение электромагнитного поля миллиметрового радиодиапазона в совершенных диэлектрических кристаллах
за авторством: Ганапольский, Е.М.
Опубліковано: (2000)

Математическое моделирование процессов контроля покрытий элементов конструкций на базе сингулярных интегральных уравнений
за авторством: Усов, А.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Планарные структуры волноводной элементной базы миллиметрового диапазона
за авторством: Скрипка, С.Л., та інші
Опубліковано: (2011)

Широкополосные высокочувствительные детекторные устройства миллиметрового диапазона радиоволн
за авторством: Асеева, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2003)

Квазиоптические твердотельные генераторы электромагнитных волн миллиметрового диапазона
за авторством: Белоус, О.И., та інші
Опубліковано: (2018)

Тенденции развития клинотронов миллиметрового диапазона длин волн
за авторством: Лысенко, Е.Е., та інші
Опубліковано: (2008)

Полупроводниковый генератор миллиметрового диапазона на запредельном волноводе
за авторством: Плаксин, С.В., та інші
Опубліковано: (2007)

Квазиоптическое диплексирование в коротковолновой части миллиметрового диапазона
за авторством: Еру, И.И.
Опубліковано: (2003)

Распространение радиоволн миллиметрового диапазона в прибрежной зоне
за авторством: Иванов, В.К., та інші
Опубліковано: (2011)

Полупроводниковый генератор миллиметрового диапазона на запредельном волноводе
за авторством: Plaksin, S. V., та інші
Опубліковано: (2007)

Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок
за авторством: Рогов, Р.В., та інші
Опубліковано: (2005)

Умножители частоты миллиметрового диапазона на полупроводниковых диодных структурах
за авторством: Карушкин, Н.Ф.
Опубліковано: (2018)

Волноводно-микрополосковый переход 8-миллиметрового диапазона длин волн
за авторством: Яковлев, И.В.
Опубліковано: (2007)

Приемо-передающий радиолокационный модуль миллиметрового диапазона длин волн
за авторством: Зуйков, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)

Волноводно-микрополосковый переход 8-миллиметрового диапазона длин волн
за авторством: Yakovlev, I. V.
Опубліковано: (2007)

Активный смеситель сдвига частоты миллиметрового диапазона на диодах Ганна
за авторством: Плаксин, С.В., та інші
Опубліковано: (2005)