Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон»
Методами структурного анализа (рентгеновская дифрактометрия и высокоразрешающая сканирующая электронная микроскопия) в сочетании с элементным анализом и изучением твердости микроиндентированием исследовано влияние аргона в смеси газов N₂+Ar на элементно-фазово-структурное состояние и микротвердость...
Збережено в:
| Дата: | 2012 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2012
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109020 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон» / В.А. Белоус, Ю.А. Заднепровский, Н.С. Ломино, О.В. Собол // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 5. — С. 114-122. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |