Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection
In this work, the SDTrimSP-2D code was used for numerical simulation of the interaction of ions with a 2D periodical structure as idealized test system to investigate the influence of surface roughness on sputtering. Sputtering yield and reflection coefficient have been studied as a function of the...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2012 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2012
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109143 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection / I. Bizyukov, A. Mutzke, R. Schneider // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 111-113. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862642737073881088 |
|---|---|
| author | Bizyukov, I. Mutzke, A. Schneider, R. |
| author_facet | Bizyukov, I. Mutzke, A. Schneider, R. |
| citation_txt | Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection / I. Bizyukov, A. Mutzke, R. Schneider // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 111-113. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | In this work, the SDTrimSP-2D code was used for numerical simulation of the interaction of ions with a 2D periodical structure as idealized test system to investigate the influence of surface roughness on sputtering. Sputtering yield and reflection coefficient have been studied as a function of the size of the pitch grating structure. Simulations show that the most important changes in ion-surface interactions occur when the structure size gets approximately equal to the size of the collisional cascade..
Код SDTrimSP-2D использовался для моделирования взаимодействия ионов с двухмерной поверхностью, которая взята в качестве идеализированной тестовой системы для исследования влияния шероховатости. Коэффициенты распыления и отражения изучались как функции характерного размера структуры дифракционной решетки. Моделирование показало, что наиболее важные изменения во взаимодействии ионов с поверхностью происходят тогда, когда размер структуры приблизительно равен размеру столкновительного каскада.
Код SDTrimSP-2D використовувався для моделювання взаємодії іонів з двомірною поверхнею, яка обрана у якості ідеалізованої тестової системи для дослідження впливу шорсткості. Коефіцієнти розпилення і відбиття вивчалися як функціі характерного розміру структури дифракційної решітки. Моделювання показало, що найбільш важливі зміни у взаємодії іонів з поверхнею відбуваються тоді, коли розмір структури приблизно дорівнює розміру каскаду зіткнень.
|
| first_indexed | 2025-12-01T06:18:27Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-109143 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-01T06:18:27Z |
| publishDate | 2012 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Bizyukov, I. Mutzke, A. Schneider, R. 2016-11-20T21:40:13Z 2016-11-20T21:40:13Z 2012 Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection / I. Bizyukov, A. Mutzke, R. Schneider // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 111-113. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 79.20 Rf https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109143 In this work, the SDTrimSP-2D code was used for numerical simulation of the interaction of ions with a 2D periodical structure as idealized test system to investigate the influence of surface roughness on sputtering. Sputtering yield and reflection coefficient have been studied as a function of the size of the pitch grating structure. Simulations show that the most important changes in ion-surface interactions occur when the structure size gets approximately equal to the size of the collisional cascade.. Код SDTrimSP-2D использовался для моделирования взаимодействия ионов с двухмерной поверхностью, которая взята в качестве идеализированной тестовой системы для исследования влияния шероховатости. Коэффициенты распыления и отражения изучались как функции характерного размера структуры дифракционной решетки. Моделирование показало, что наиболее важные изменения во взаимодействии ионов с поверхностью происходят тогда, когда размер структуры приблизительно равен размеру столкновительного каскада. Код SDTrimSP-2D використовувався для моделювання взаємодії іонів з двомірною поверхнею, яка обрана у якості ідеалізованої тестової системи для дослідження впливу шорсткості. Коефіцієнти розпилення і відбиття вивчалися як функціі характерного розміру структури дифракційної решітки. Моделювання показало, що найбільш важливі зміни у взаємодії іонів з поверхнею відбуваються тоді, коли розмір структури приблизно дорівнює розміру каскаду зіткнень. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Динамика плазмы и взаимодействие плазмы со стенкой Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection Влияние шероховатости поверхности на распыление и отражение Вплив шорсткості поверхні на розпилення та відбиття Article published earlier |
| spellingShingle | Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection Bizyukov, I. Mutzke, A. Schneider, R. Динамика плазмы и взаимодействие плазмы со стенкой |
| title | Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection |
| title_alt | Влияние шероховатости поверхности на распыление и отражение Вплив шорсткості поверхні на розпилення та відбиття |
| title_full | Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection |
| title_fullStr | Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection |
| title_full_unstemmed | Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection |
| title_short | Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection |
| title_sort | effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection |
| topic | Динамика плазмы и взаимодействие плазмы со стенкой |
| topic_facet | Динамика плазмы и взаимодействие плазмы со стенкой |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109143 |
| work_keys_str_mv | AT bizyukovi effectofincreasingsurfaceroughnessonsputteringandreflection AT mutzkea effectofincreasingsurfaceroughnessonsputteringandreflection AT schneiderr effectofincreasingsurfaceroughnessonsputteringandreflection AT bizyukovi vliâniešerohovatostipoverhnostinaraspylenieiotraženie AT mutzkea vliâniešerohovatostipoverhnostinaraspylenieiotraženie AT schneiderr vliâniešerohovatostipoverhnostinaraspylenieiotraženie AT bizyukovi vplivšorstkostípoverhnínarozpilennâtavídbittâ AT mutzkea vplivšorstkostípoverhnínarozpilennâtavídbittâ AT schneiderr vplivšorstkostípoverhnínarozpilennâtavídbittâ |