Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M
An experiment on chamber RF cleaning for 12 hours a day during 2 weeks with the subsequent vacuum pumping out was carried out. The plasma was produced by the UHF generator with the frequency of 2.4 GHz. Afterwards, the VHF generator working at the frequency of 132 MHz in a continuous mode was turned...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2013 |
| Main Authors: | , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109253 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M / D.I. Baron, V.Ya. Chernyshenko, V.B. Korovin, E.D. Kramskoy, S.M. Maznichenko, A.F. Shtan, S.I. Solodovchenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 1. — С. 21-23. — Бібліогр.: 3 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862560566940270592 |
|---|---|
| author | Baron, D.I. Chernyshenko, V.Ya. Korovin, V.B. Kramskoy, E.D. Maznichenko, S.M. Shtan, A.F. Solodovchenko, S.I. |
| author_facet | Baron, D.I. Chernyshenko, V.Ya. Korovin, V.B. Kramskoy, E.D. Maznichenko, S.M. Shtan, A.F. Solodovchenko, S.I. |
| citation_txt | Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M / D.I. Baron, V.Ya. Chernyshenko, V.B. Korovin, E.D. Kramskoy, S.M. Maznichenko, A.F. Shtan, S.I. Solodovchenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 1. — С. 21-23. — Бібліогр.: 3 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | An experiment on chamber RF cleaning for 12 hours a day during 2 weeks with the subsequent vacuum pumping out was carried out. The plasma was produced by the UHF generator with the frequency of 2.4 GHz. Afterwards, the VHF generator working at the frequency of 132 MHz in a continuous mode was turned on and continued to work independently. The process of wall conditioning involved filling the chamber with H₂ under the pressure range inside the chamber of (1.8…2.0)·10⁻⁴ Torr. During the process of radio-frequency (RF) chamber cleaning the pumped out gas was condensed on the cryogenic trap surface. Afterwards the trap was cut off, heated up and the gas pressure Pg inside the cut off trap chamber was measured. The Pg dependence on both discharge power and condensation time period is analyzed. As a result of the RF cleaning the Pg pressure was reduced by 4…5 times. The vacuum pumping out speed was measured when filling the vacuum vessel with propane and nitrogen.
Был проведен эксперимент по чистке стенок камеры в течение 2 недель по 12 часов в день с последующей откачкой камеры. Плазма создавалась СВЧ-генератором с частотой 2.4 ГГц и затем включался УКВ-генератор, работающий на частоте 132 МГц в непрерывном режиме, который в дальнейшем работал самостоятельно. Чистка производилась с напуском водорода в диапазоне давлений в камере (1.8...2.0)×10⁻⁴Торр. В процессе чистки камеры УКВ-разрядом производилась конденсация образовывающегося внутри камеры газа на охлажденную поверхность азотной ловушки. Затем ловушка отсекалась от насоса и от камеры установки, проводилось ее отепление и измерялось давление газа Pg в отсеченной камере ловушки. Показана зависимость Pg от мощности разряда и длительности конденсации. По результатам эксперимента отмечено снижение значений Pg в 5...6 раз. Проведено измерение скорости откачки вакуумной системы для пропана и азота.
Було проведено експеримент з очищення стінок камери на протязі 2 тижнів по 12 годин на день з наступною відкачкою камери. Плазма створювалась НВЧ-генератором з робочою частотою 2.4 ГГц, після цього вмикався УКВ-генератор, що працював на частоті 132 МГц у безперервному режимі, який надалі працював самостійно. Очищення проводилось з напуском водню у діапазоні тиску в камері (1.8...2.0)×10⁻⁴ Торр. Протягом процесу чищення камери УКВ-розрядом проводилась конденсація газу, що створюється в камері, на охолоджену поверхню азотного уловлювача. Потім пастка відтиналася від насоса і від камери установки, проводилося ії утеплення й вимірювався тиск газу Pg у відсіченій камері пастки. Показано залежність Pg від потужності розряду та тривалості конденсації. За результатами експерименту відмічено зниження значень Pg у 5...6 разів. Проведено вимірювання швидкості відкачки вакуумної системи для пропану та азоту.
|
| first_indexed | 2025-11-25T23:07:34Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-109253 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-25T23:07:34Z |
| publishDate | 2013 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Baron, D.I. Chernyshenko, V.Ya. Korovin, V.B. Kramskoy, E.D. Maznichenko, S.M. Shtan, A.F. Solodovchenko, S.I. 2016-11-21T21:40:20Z 2016-11-21T21:40:20Z 2013 2013 Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M / D.I. Baron, V.Ya. Chernyshenko, V.B. Korovin, E.D. Kramskoy, S.M. Maznichenko, A.F. Shtan, S.I. Solodovchenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 1. — С. 21-23. — Бібліогр.: 3 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.80.Pi, 52.77.Bn, 81.65.-b. https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109253 An experiment on chamber RF cleaning for 12 hours a day during 2 weeks with the subsequent vacuum pumping out was carried out. The plasma was produced by the UHF generator with the frequency of 2.4 GHz. Afterwards, the VHF generator working at the frequency of 132 MHz in a continuous mode was turned on and continued to work independently. The process of wall conditioning involved filling the chamber with H₂ under the pressure range inside the chamber of (1.8…2.0)·10⁻⁴ Torr. During the process of radio-frequency (RF) chamber cleaning the pumped out gas was condensed on the cryogenic trap surface. Afterwards the trap was cut off, heated up and the gas pressure Pg inside the cut off trap chamber was measured. The Pg dependence on both discharge power and condensation time period is analyzed. As a result of the RF cleaning the Pg pressure was reduced by 4…5 times. The vacuum pumping out speed was measured when filling the vacuum vessel with propane and nitrogen. Был проведен эксперимент по чистке стенок камеры в течение 2 недель по 12 часов в день с последующей откачкой камеры. Плазма создавалась СВЧ-генератором с частотой 2.4 ГГц и затем включался УКВ-генератор, работающий на частоте 132 МГц в непрерывном режиме, который в дальнейшем работал самостоятельно. Чистка производилась с напуском водорода в диапазоне давлений в камере (1.8...2.0)×10⁻⁴Торр. В процессе чистки камеры УКВ-разрядом производилась конденсация образовывающегося внутри камеры газа на охлажденную поверхность азотной ловушки. Затем ловушка отсекалась от насоса и от камеры установки, проводилось ее отепление и измерялось давление газа Pg в отсеченной камере ловушки. Показана зависимость Pg от мощности разряда и длительности конденсации. По результатам эксперимента отмечено снижение значений Pg в 5...6 раз. Проведено измерение скорости откачки вакуумной системы для пропана и азота. Було проведено експеримент з очищення стінок камери на протязі 2 тижнів по 12 годин на день з наступною відкачкою камери. Плазма створювалась НВЧ-генератором з робочою частотою 2.4 ГГц, після цього вмикався УКВ-генератор, що працював на частоті 132 МГц у безперервному режимі, який надалі працював самостійно. Очищення проводилось з напуском водню у діапазоні тиску в камері (1.8...2.0)×10⁻⁴ Торр. Протягом процесу чищення камери УКВ-розрядом проводилась конденсація газу, що створюється в камері, на охолоджену поверхню азотного уловлювача. Потім пастка відтиналася від насоса і від камери установки, проводилося ії утеплення й вимірювався тиск газу Pg у відсіченій камері пастки. Показано залежність Pg від потужності розряду та тривалості конденсації. За результатами експерименту відмічено зниження значень Pg у 5...6 разів. Проведено вимірювання швидкості відкачки вакуумної системи для пропану та азоту. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Магнитное удержание Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M Измерение скорости чистки камеры Ураган-2М Вімірювання швидкості чищення камери Ураган-2М Article published earlier |
| spellingShingle | Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M Baron, D.I. Chernyshenko, V.Ya. Korovin, V.B. Kramskoy, E.D. Maznichenko, S.M. Shtan, A.F. Solodovchenko, S.I. Магнитное удержание |
| title | Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M |
| title_alt | Измерение скорости чистки камеры Ураган-2М Вімірювання швидкості чищення камери Ураган-2М |
| title_full | Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M |
| title_fullStr | Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M |
| title_full_unstemmed | Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M |
| title_short | Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M |
| title_sort | measurements of wall conditioning rate at uragan-2m |
| topic | Магнитное удержание |
| topic_facet | Магнитное удержание |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109253 |
| work_keys_str_mv | AT barondi measurementsofwallconditioningrateaturagan2m AT chernyshenkovya measurementsofwallconditioningrateaturagan2m AT korovinvb measurementsofwallconditioningrateaturagan2m AT kramskoyed measurementsofwallconditioningrateaturagan2m AT maznichenkosm measurementsofwallconditioningrateaturagan2m AT shtanaf measurementsofwallconditioningrateaturagan2m AT solodovchenkosi measurementsofwallconditioningrateaturagan2m AT barondi izmerenieskorostičistkikameryuragan2m AT chernyshenkovya izmerenieskorostičistkikameryuragan2m AT korovinvb izmerenieskorostičistkikameryuragan2m AT kramskoyed izmerenieskorostičistkikameryuragan2m AT maznichenkosm izmerenieskorostičistkikameryuragan2m AT shtanaf izmerenieskorostičistkikameryuragan2m AT solodovchenkosi izmerenieskorostičistkikameryuragan2m AT barondi vímírûvannâšvidkostíčiŝennâkameriuragan2m AT chernyshenkovya vímírûvannâšvidkostíčiŝennâkameriuragan2m AT korovinvb vímírûvannâšvidkostíčiŝennâkameriuragan2m AT kramskoyed vímírûvannâšvidkostíčiŝennâkameriuragan2m AT maznichenkosm vímírûvannâšvidkostíčiŝennâkameriuragan2m AT shtanaf vímírûvannâšvidkostíčiŝennâkameriuragan2m AT solodovchenkosi vímírûvannâšvidkostíčiŝennâkameriuragan2m |