Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M

An experiment on chamber RF cleaning for 12 hours a day during 2 weeks with the subsequent vacuum pumping out was carried out. The plasma was produced by the UHF generator with the frequency of 2.4 GHz. Afterwards, the VHF generator working at the frequency of 132 MHz in a continuous mode was turned...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Вопросы атомной науки и техники
Date:2013
Main Authors: Baron, D.I., Chernyshenko, V.Ya., Korovin, V.B., Kramskoy, E.D., Maznichenko, S.M., Shtan, A.F., Solodovchenko, S.I.
Format: Article
Language:English
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2013
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109253
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M / D.I. Baron, V.Ya. Chernyshenko, V.B. Korovin, E.D. Kramskoy, S.M. Maznichenko, A.F. Shtan, S.I. Solodovchenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 1. — С. 21-23. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862560566940270592
author Baron, D.I.
Chernyshenko, V.Ya.
Korovin, V.B.
Kramskoy, E.D.
Maznichenko, S.M.
Shtan, A.F.
Solodovchenko, S.I.
author_facet Baron, D.I.
Chernyshenko, V.Ya.
Korovin, V.B.
Kramskoy, E.D.
Maznichenko, S.M.
Shtan, A.F.
Solodovchenko, S.I.
citation_txt Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M / D.I. Baron, V.Ya. Chernyshenko, V.B. Korovin, E.D. Kramskoy, S.M. Maznichenko, A.F. Shtan, S.I. Solodovchenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 1. — С. 21-23. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.
collection DSpace DC
container_title Вопросы атомной науки и техники
description An experiment on chamber RF cleaning for 12 hours a day during 2 weeks with the subsequent vacuum pumping out was carried out. The plasma was produced by the UHF generator with the frequency of 2.4 GHz. Afterwards, the VHF generator working at the frequency of 132 MHz in a continuous mode was turned on and continued to work independently. The process of wall conditioning involved filling the chamber with H₂ under the pressure range inside the chamber of (1.8…2.0)·10⁻⁴ Torr. During the process of radio-frequency (RF) chamber cleaning the pumped out gas was condensed on the cryogenic trap surface. Afterwards the trap was cut off, heated up and the gas pressure Pg inside the cut off trap chamber was measured. The Pg dependence on both discharge power and condensation time period is analyzed. As a result of the RF cleaning the Pg pressure was reduced by 4…5 times. The vacuum pumping out speed was measured when filling the vacuum vessel with propane and nitrogen. Был проведен эксперимент по чистке стенок камеры в течение 2 недель по 12 часов в день с последующей откачкой камеры. Плазма создавалась СВЧ-генератором с частотой 2.4 ГГц и затем включался УКВ-генератор, работающий на частоте 132 МГц в непрерывном режиме, который в дальнейшем работал самостоятельно. Чистка производилась с напуском водорода в диапазоне давлений в камере (1.8...2.0)×10⁻⁴Торр. В процессе чистки камеры УКВ-разрядом производилась конденсация образовывающегося внутри камеры газа на охлажденную поверхность азотной ловушки. Затем ловушка отсекалась от насоса и от камеры установки, проводилось ее отепление и измерялось давление газа Pg в отсеченной камере ловушки. Показана зависимость Pg от мощности разряда и длительности конденсации. По результатам эксперимента отмечено снижение значений Pg в 5...6 раз. Проведено измерение скорости откачки вакуумной системы для пропана и азота. Було проведено експеримент з очищення стінок камери на протязі 2 тижнів по 12 годин на день з наступною відкачкою камери. Плазма створювалась НВЧ-генератором з робочою частотою 2.4 ГГц, після цього вмикався УКВ-генератор, що працював на частоті 132 МГц у безперервному режимі, який надалі працював самостійно. Очищення проводилось з напуском водню у діапазоні тиску в камері (1.8...2.0)×10⁻⁴ Торр. Протягом процесу чищення камери УКВ-розрядом проводилась конденсація газу, що створюється в камері, на охолоджену поверхню азотного уловлювача. Потім пастка відтиналася від насоса і від камери установки, проводилося ії утеплення й вимірювався тиск газу Pg у відсіченій камері пастки. Показано залежність Pg від потужності розряду та тривалості конденсації. За результатами експерименту відмічено зниження значень Pg у 5...6 разів. Проведено вимірювання швидкості відкачки вакуумної системи для пропану та азоту.
first_indexed 2025-11-25T23:07:34Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-109253
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1562-6016
language English
last_indexed 2025-11-25T23:07:34Z
publishDate 2013
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
record_format dspace
spelling Baron, D.I.
Chernyshenko, V.Ya.
Korovin, V.B.
Kramskoy, E.D.
Maznichenko, S.M.
Shtan, A.F.
Solodovchenko, S.I.
2016-11-21T21:40:20Z
2016-11-21T21:40:20Z
2013
2013
Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M / D.I. Baron, V.Ya. Chernyshenko, V.B. Korovin, E.D. Kramskoy, S.M. Maznichenko, A.F. Shtan, S.I. Solodovchenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 1. — С. 21-23. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 52.80.Pi, 52.77.Bn, 81.65.-b.
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109253
An experiment on chamber RF cleaning for 12 hours a day during 2 weeks with the subsequent vacuum pumping out was carried out. The plasma was produced by the UHF generator with the frequency of 2.4 GHz. Afterwards, the VHF generator working at the frequency of 132 MHz in a continuous mode was turned on and continued to work independently. The process of wall conditioning involved filling the chamber with H₂ under the pressure range inside the chamber of (1.8…2.0)·10⁻⁴ Torr. During the process of radio-frequency (RF) chamber cleaning the pumped out gas was condensed on the cryogenic trap surface. Afterwards the trap was cut off, heated up and the gas pressure Pg inside the cut off trap chamber was measured. The Pg dependence on both discharge power and condensation time period is analyzed. As a result of the RF cleaning the Pg pressure was reduced by 4…5 times. The vacuum pumping out speed was measured when filling the vacuum vessel with propane and nitrogen.
Был проведен эксперимент по чистке стенок камеры в течение 2 недель по 12 часов в день с последующей откачкой камеры. Плазма создавалась СВЧ-генератором с частотой 2.4 ГГц и затем включался УКВ-генератор, работающий на частоте 132 МГц в непрерывном режиме, который в дальнейшем работал самостоятельно. Чистка производилась с напуском водорода в диапазоне давлений в камере (1.8...2.0)×10⁻⁴Торр. В процессе чистки камеры УКВ-разрядом производилась конденсация образовывающегося внутри камеры газа на охлажденную поверхность азотной ловушки. Затем ловушка отсекалась от насоса и от камеры установки, проводилось ее отепление и измерялось давление газа Pg в отсеченной камере ловушки. Показана зависимость Pg от мощности разряда и длительности конденсации. По результатам эксперимента отмечено снижение значений Pg в 5...6 раз. Проведено измерение скорости откачки вакуумной системы для пропана и азота.
Було проведено експеримент з очищення стінок камери на протязі 2 тижнів по 12 годин на день з наступною відкачкою камери. Плазма створювалась НВЧ-генератором з робочою частотою 2.4 ГГц, після цього вмикався УКВ-генератор, що працював на частоті 132 МГц у безперервному режимі, який надалі працював самостійно. Очищення проводилось з напуском водню у діапазоні тиску в камері (1.8...2.0)×10⁻⁴ Торр. Протягом процесу чищення камери УКВ-розрядом проводилась конденсація газу, що створюється в камері, на охолоджену поверхню азотного уловлювача. Потім пастка відтиналася від насоса і від камери установки, проводилося ії утеплення й вимірювався тиск газу Pg у відсіченій камері пастки. Показано залежність Pg від потужності розряду та тривалості конденсації. За результатами експерименту відмічено зниження значень Pg у 5...6 разів. Проведено вимірювання швидкості відкачки вакуумної системи для пропану та азоту.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Магнитное удержание
Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M
Измерение скорости чистки камеры Ураган-2М
Вімірювання швидкості чищення камери Ураган-2М
Article
published earlier
spellingShingle Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M
Baron, D.I.
Chernyshenko, V.Ya.
Korovin, V.B.
Kramskoy, E.D.
Maznichenko, S.M.
Shtan, A.F.
Solodovchenko, S.I.
Магнитное удержание
title Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M
title_alt Измерение скорости чистки камеры Ураган-2М
Вімірювання швидкості чищення камери Ураган-2М
title_full Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M
title_fullStr Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M
title_full_unstemmed Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M
title_short Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M
title_sort measurements of wall conditioning rate at uragan-2m
topic Магнитное удержание
topic_facet Магнитное удержание
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109253
work_keys_str_mv AT barondi measurementsofwallconditioningrateaturagan2m
AT chernyshenkovya measurementsofwallconditioningrateaturagan2m
AT korovinvb measurementsofwallconditioningrateaturagan2m
AT kramskoyed measurementsofwallconditioningrateaturagan2m
AT maznichenkosm measurementsofwallconditioningrateaturagan2m
AT shtanaf measurementsofwallconditioningrateaturagan2m
AT solodovchenkosi measurementsofwallconditioningrateaturagan2m
AT barondi izmerenieskorostičistkikameryuragan2m
AT chernyshenkovya izmerenieskorostičistkikameryuragan2m
AT korovinvb izmerenieskorostičistkikameryuragan2m
AT kramskoyed izmerenieskorostičistkikameryuragan2m
AT maznichenkosm izmerenieskorostičistkikameryuragan2m
AT shtanaf izmerenieskorostičistkikameryuragan2m
AT solodovchenkosi izmerenieskorostičistkikameryuragan2m
AT barondi vímírûvannâšvidkostíčiŝennâkameriuragan2m
AT chernyshenkovya vímírûvannâšvidkostíčiŝennâkameriuragan2m
AT korovinvb vímírûvannâšvidkostíčiŝennâkameriuragan2m
AT kramskoyed vímírûvannâšvidkostíčiŝennâkameriuragan2m
AT maznichenkosm vímírûvannâšvidkostíčiŝennâkameriuragan2m
AT shtanaf vímírûvannâšvidkostíčiŝennâkameriuragan2m
AT solodovchenkosi vímírûvannâšvidkostíčiŝennâkameriuragan2m