Cover Image

Экспериментальная установка для анализа вторичных нейтральных частиц

Предложена конструкция экспериментальной установки для масс-спектрометрического анализа нейтральной компоненты потока распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, что позволяет работать в широком интервале энергий первичных ионов (20…170 кэВ). Ионизация нейтра...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Вопросы атомной науки и техники
Date:2008
Main Authors: Батурин, В.А., Еремин, С.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2008
Subjects:
Приложения и технологии
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110691
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Экспериментальная установка для анализа вторичных нейтральных частиц / В.А. Батурин, С.А. Еремин // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 4. — С. 255-259. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items