Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
Описана установка, в которой применен ряд технических решений, нетрадиционных для вакуумно- дуговых машин аналогичного назначения – камера колпачного типа, позволяющая применить промывку ее внутренних поверхностей сухим горячим азотом или аргоном при загрузке и выгрузке изделий со стороны днища;...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2008 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111085 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 2. — С. 108-118. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111085 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Аксёнов, И.И. Белоус, В.А. 2017-01-08T09:48:31Z 2017-01-08T09:48:31Z 2008 Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 2. — С. 108-118. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111085 621.793 Описана установка, в которой применен ряд технических решений, нетрадиционных для вакуумно- дуговых машин аналогичного назначения – камера колпачного типа, позволяющая применить промывку ее внутренних поверхностей сухим горячим азотом или аргоном при загрузке и выгрузке изделий со стороны днища; система автоматической выгрузки-загрузки изделий; экранировка внутренних стенок камеры прогреваемыми до высоких температур панелями; усовершенствованные вакуумно-дуговые источники плазмы, в том числе источник с плазменным фильтром; однотрансформаторный четырехканальный источник питания дуги в источниках плазмы; система колебательных LC контуров для подавления микродуг на поверхностях обрабатываемых изделий; автоматическое управление технологическим циклом, включая процессы откачки камеры, выгрузки и загрузки изделий, весь процесс ионно-плазменной обработки загруженных изделий. Перечисленный комплекс технических решений обусловил значительные преимущества установки перед другим технологическим оборудованием аналогичного назначения. Уникальность и новизна установки сохранились до настоящего времени, спустя два десятилетия после её создания. Описано установку, в якій застосовано ряд технічних рішень нетрадиційних для вакуумно-дугового обладнання аналогічного призначення: камера ковпакового типу, яка дозволяє здійснювати її промивку сухим гарячим азотом або аргоном; система автоматизованого завантаження – розвантаження камери виробами, що підлягають обробці; екранування внутрішньої поверхні камери панелями, що нагріваються до високих температур; удосконалені вакуумнодугові плазмові джерела, серед яких одне оснащене магнітним фільтром; однотрансформаторне чотириканальне джерело живлення дугових розрядів; LC коливальні контури для запобігання появи розвинених катодних плям на оброблюваних виробах; система автоматичного керування технологічним процесом. Застосування ряду зазначених технічних рішень обумовили унікальність і новизну установки, які збереглися до теперішнього часу. A number of progressive technical solutions are used in the «Bulat-9» machine designed for vacuum arc coating deposition. The features of the machine are: a dome shaped working chamber that allows to "wash" its inner surfaces with hot nitrogen or argon gas; a system of automatic loading/unloading of articles to be treated into the chamber through its bottom; shielding of the inner surfaces of the chamber by heatable panels; improved vacuum arc plasma sources including filtered one; four ported power supply for the vacuum arc discharges; LC oscillatory circuits suppressing microarcs on the substrate; the system of automatic control of a working process. The said technical features cause the apparatus originality and novelty preserved up to-day. Общая концепция установки «Булат-9» и техническое задание на ее проектирование разработаны В.Г. Бренем, И.И. Аксёновым и Л.К. Гетьманом. Пусконаладочные работы и отработка технологических процессов на установке осуществлялись под руководством В.Г. Бреня. Конструкторская документация разработана группой специалистов конструкторского бюро ХФТИ (Л.И. Гетьманом, С.И. Мельником, В.П. Смазнымй, В.Д. Шелешпановым и др.). Разработка технического задания на конструирование и проектирование модифицированной модели установки осуществлялись тем же составом специалистов с участием В.А. Белоуса. Основные конструкторские работы по системе электропитания и управления модифицированной установки выполнены Ю.А. Сенченко. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий Високопродуктивна вакуумно-дугова установка для осадження покриттів High efficient vacuum arc plant for coating deposition Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий |
| spellingShingle |
Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий Аксёнов, И.И. Белоус, В.А. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title_short |
Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий |
| title_full |
Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий |
| title_fullStr |
Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий |
| title_full_unstemmed |
Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий |
| title_sort |
высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий |
| author |
Аксёнов, И.И. Белоус, В.А. |
| author_facet |
Аксёнов, И.И. Белоус, В.А. |
| topic |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| publishDate |
2008 |
| language |
Russian |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Високопродуктивна вакуумно-дугова установка для осадження покриттів High efficient vacuum arc plant for coating deposition |
| description |
Описана установка, в которой применен ряд технических решений, нетрадиционных для вакуумно-
дуговых машин аналогичного назначения – камера колпачного типа, позволяющая применить промывку ее
внутренних поверхностей сухим горячим азотом или аргоном при загрузке и выгрузке изделий со стороны
днища; система автоматической выгрузки-загрузки изделий; экранировка внутренних стенок камеры прогреваемыми до высоких температур панелями; усовершенствованные вакуумно-дуговые источники плазмы, в том числе источник с плазменным фильтром; однотрансформаторный четырехканальный источник питания дуги в источниках плазмы; система колебательных LC контуров для подавления микродуг на поверхностях обрабатываемых изделий; автоматическое управление технологическим циклом, включая процессы откачки камеры, выгрузки и загрузки изделий, весь процесс ионно-плазменной обработки загруженных изделий. Перечисленный комплекс технических решений обусловил значительные преимущества установки перед другим технологическим оборудованием аналогичного назначения. Уникальность и новизна установки сохранились до настоящего времени, спустя два десятилетия после её создания.
Описано установку, в якій застосовано ряд технічних рішень нетрадиційних для вакуумно-дугового обладнання аналогічного
призначення: камера ковпакового типу, яка дозволяє здійснювати її промивку сухим гарячим азотом або аргоном; система автоматизованого завантаження – розвантаження камери виробами, що підлягають обробці; екранування внутрішньої поверхні камери панелями, що нагріваються до високих температур; удосконалені вакуумнодугові плазмові джерела, серед яких одне оснащене магнітним фільтром; однотрансформаторне чотириканальне джерело живлення дугових розрядів; LC коливальні контури для запобігання появи розвинених катодних плям на оброблюваних виробах; система автоматичного керування технологічним процесом. Застосування ряду зазначених технічних рішень обумовили унікальність і новизну установки, які збереглися до теперішнього часу.
A number of progressive technical solutions are used in the «Bulat-9» machine designed for vacuum arc coating deposition. The features of the machine are: a dome shaped working chamber that allows to "wash" its inner surfaces with hot nitrogen or argon gas; a system of automatic loading/unloading of articles to be treated into the chamber through its bottom; shielding of the inner surfaces of the chamber by heatable panels; improved vacuum arc plasma sources including filtered one; four ported power supply for the vacuum arc discharges; LC oscillatory circuits suppressing microarcs on the substrate; the system of automatic control of a working process. The said technical features cause the apparatus originality and novelty preserved up to-day.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111085 |
| citation_txt |
Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 2. — С. 108-118. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT aksenovii vysokoproizvoditelʹnaâvakuumnodugovaâustanovkadlâosaždeniâpokrytii AT belousva vysokoproizvoditelʹnaâvakuumnodugovaâustanovkadlâosaždeniâpokrytii AT aksenovii visokoproduktivnavakuumnodugovaustanovkadlâosadžennâpokrittív AT belousva visokoproduktivnavakuumnodugovaustanovkadlâosadžennâpokrittív AT aksenovii highefficientvacuumarcplantforcoatingdeposition AT belousva highefficientvacuumarcplantforcoatingdeposition |
| first_indexed |
2025-12-01T02:09:37Z |
| last_indexed |
2025-12-01T02:09:37Z |
| _version_ |
1850859125463842816 |