Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий

Описана установка, в которой применен ряд технических решений, нетрадиционных для вакуумно-
 дуговых машин аналогичного назначения – камера колпачного типа, позволяющая применить промывку ее
 внутренних поверхностей сухим горячим азотом или аргоном при загрузке и выгрузке изделий со...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Вопросы атомной науки и техники
Дата:2008
Автори: Аксёнов, И.И., Белоус, В.А.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2008
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111085
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 2. — С. 108-118. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862640216806785024
author Аксёнов, И.И.
Белоус, В.А.
author_facet Аксёнов, И.И.
Белоус, В.А.
citation_txt Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 2. — С. 108-118. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Вопросы атомной науки и техники
description Описана установка, в которой применен ряд технических решений, нетрадиционных для вакуумно-
 дуговых машин аналогичного назначения – камера колпачного типа, позволяющая применить промывку ее
 внутренних поверхностей сухим горячим азотом или аргоном при загрузке и выгрузке изделий со стороны
 днища; система автоматической выгрузки-загрузки изделий; экранировка внутренних стенок камеры прогреваемыми до высоких температур панелями; усовершенствованные вакуумно-дуговые источники плазмы, в том числе источник с плазменным фильтром; однотрансформаторный четырехканальный источник питания дуги в источниках плазмы; система колебательных LC контуров для подавления микродуг на поверхностях обрабатываемых изделий; автоматическое управление технологическим циклом, включая процессы откачки камеры, выгрузки и загрузки изделий, весь процесс ионно-плазменной обработки загруженных изделий. Перечисленный комплекс технических решений обусловил значительные преимущества установки перед другим технологическим оборудованием аналогичного назначения. Уникальность и новизна установки сохранились до настоящего времени, спустя два десятилетия после её создания. Описано установку, в якій застосовано ряд технічних рішень нетрадиційних для вакуумно-дугового обладнання аналогічного
 призначення: камера ковпакового типу, яка дозволяє здійснювати її промивку сухим гарячим азотом або аргоном; система автоматизованого завантаження – розвантаження камери виробами, що підлягають обробці; екранування внутрішньої поверхні камери панелями, що нагріваються до високих температур; удосконалені вакуумнодугові плазмові джерела, серед яких одне оснащене магнітним фільтром; однотрансформаторне чотириканальне джерело живлення дугових розрядів; LC коливальні контури для запобігання появи розвинених катодних плям на оброблюваних виробах; система автоматичного керування технологічним процесом. Застосування ряду зазначених технічних рішень обумовили унікальність і новизну установки, які збереглися до теперішнього часу. A number of progressive technical solutions are used in the «Bulat-9» machine designed for vacuum arc coating deposition. The features of the machine are: a dome shaped working chamber that allows to "wash" its inner surfaces with hot nitrogen or argon gas; a system of automatic loading/unloading of articles to be treated into the chamber through its bottom; shielding of the inner surfaces of the chamber by heatable panels; improved vacuum arc plasma sources including filtered one; four ported power supply for the vacuum arc discharges; LC oscillatory circuits suppressing microarcs on the substrate; the system of automatic control of a working process. The said technical features cause the apparatus originality and novelty preserved up to-day.
first_indexed 2025-12-01T02:09:37Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111085
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1562-6016
language Russian
last_indexed 2025-12-01T02:09:37Z
publishDate 2008
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
record_format dspace
spelling Аксёнов, И.И.
Белоус, В.А.
2017-01-08T09:48:31Z
2017-01-08T09:48:31Z
2008
Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 2. — С. 108-118. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
1562-6016
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111085
621.793
Описана установка, в которой применен ряд технических решений, нетрадиционных для вакуумно-
 дуговых машин аналогичного назначения – камера колпачного типа, позволяющая применить промывку ее
 внутренних поверхностей сухим горячим азотом или аргоном при загрузке и выгрузке изделий со стороны
 днища; система автоматической выгрузки-загрузки изделий; экранировка внутренних стенок камеры прогреваемыми до высоких температур панелями; усовершенствованные вакуумно-дуговые источники плазмы, в том числе источник с плазменным фильтром; однотрансформаторный четырехканальный источник питания дуги в источниках плазмы; система колебательных LC контуров для подавления микродуг на поверхностях обрабатываемых изделий; автоматическое управление технологическим циклом, включая процессы откачки камеры, выгрузки и загрузки изделий, весь процесс ионно-плазменной обработки загруженных изделий. Перечисленный комплекс технических решений обусловил значительные преимущества установки перед другим технологическим оборудованием аналогичного назначения. Уникальность и новизна установки сохранились до настоящего времени, спустя два десятилетия после её создания.
Описано установку, в якій застосовано ряд технічних рішень нетрадиційних для вакуумно-дугового обладнання аналогічного
 призначення: камера ковпакового типу, яка дозволяє здійснювати її промивку сухим гарячим азотом або аргоном; система автоматизованого завантаження – розвантаження камери виробами, що підлягають обробці; екранування внутрішньої поверхні камери панелями, що нагріваються до високих температур; удосконалені вакуумнодугові плазмові джерела, серед яких одне оснащене магнітним фільтром; однотрансформаторне чотириканальне джерело живлення дугових розрядів; LC коливальні контури для запобігання появи розвинених катодних плям на оброблюваних виробах; система автоматичного керування технологічним процесом. Застосування ряду зазначених технічних рішень обумовили унікальність і новизну установки, які збереглися до теперішнього часу.
A number of progressive technical solutions are used in the «Bulat-9» machine designed for vacuum arc coating deposition. The features of the machine are: a dome shaped working chamber that allows to "wash" its inner surfaces with hot nitrogen or argon gas; a system of automatic loading/unloading of articles to be treated into the chamber through its bottom; shielding of the inner surfaces of the chamber by heatable panels; improved vacuum arc plasma sources including filtered one; four ported power supply for the vacuum arc discharges; LC oscillatory circuits suppressing microarcs on the substrate; the system of automatic control of a working process. The said technical features cause the apparatus originality and novelty preserved up to-day.
Общая концепция установки «Булат-9» и техническое задание на ее проектирование разработаны В.Г. Бренем, И.И. Аксёновым и Л.К. Гетьманом. Пусконаладочные работы и отработка технологических процессов на установке осуществлялись под руководством В.Г. Бреня. Конструкторская документация разработана группой специалистов конструкторского бюро ХФТИ (Л.И. Гетьманом, С.И. Мельником, В.П. Смазнымй, В.Д. Шелешпановым и др.). Разработка технического задания на конструирование и проектирование модифицированной модели установки осуществлялись тем же составом специалистов с участием В.А. Белоуса. Основные конструкторские работы по системе электропитания и управления модифицированной установки выполнены Ю.А. Сенченко.
ru
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
Високопродуктивна вакуумно-дугова установка для осадження покриттів
High efficient vacuum arc plant for coating deposition
Article
published earlier
spellingShingle Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
Аксёнов, И.И.
Белоус, В.А.
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
title Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
title_alt Високопродуктивна вакуумно-дугова установка для осадження покриттів
High efficient vacuum arc plant for coating deposition
title_full Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
title_fullStr Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
title_full_unstemmed Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
title_short Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
title_sort высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
topic Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
topic_facet Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111085
work_keys_str_mv AT aksenovii vysokoproizvoditelʹnaâvakuumnodugovaâustanovkadlâosaždeniâpokrytii
AT belousva vysokoproizvoditelʹnaâvakuumnodugovaâustanovkadlâosaždeniâpokrytii
AT aksenovii visokoproduktivnavakuumnodugovaustanovkadlâosadžennâpokrittív
AT belousva visokoproduktivnavakuumnodugovaustanovkadlâosadžennâpokrittív
AT aksenovii highefficientvacuumarcplantforcoatingdeposition
AT belousva highefficientvacuumarcplantforcoatingdeposition