Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
Описана установка, в которой применен ряд технических решений, нетрадиционных для вакуумно-
 дуговых машин аналогичного назначения – камера колпачного типа, позволяющая применить промывку ее
 внутренних поверхностей сухим горячим азотом или аргоном при загрузке и выгрузке изделий со...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2008 |
| Hauptverfasser: | Аксёнов, И.И., Белоус, В.А. |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111085 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 2. — С. 108-118. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineÄhnliche Einträge
Вакуумно-дуговое оборудование и технологии покрытий в ХФТИ
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2016)
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2016)
Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Магнитоуправляемый вакуумно-дуговой источник плазмы
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2002)
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2002)
Слоистые Ti-Cr–N-покрытия, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения
von: Кунченко, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Кунченко, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Механические характеристики, структура и напряженное состояние вакуумно-дуговых TiN-покрытий, осажденных при подаче на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Износостойкость и жаростойкость вакуумно-дуговых покрытий на основе TiN и TiAlN с добавками Si и Y
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Об эффективности вакуумно-дуговых источников сепарированной плазмы
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2001)
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2001)
Механические характеристики твэльных трубок из сплава Zr1Nb после осаждения ионно-плазменных покрытий
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
von: Кунченко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2006)
von: Кунченко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2006)
Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения
von: Марченко, Ю.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Марченко, Ю.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Транспортировка вакуумно-дуговой плазмы в неоднородном магнитном поле
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2005)
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2005)
Формирование TiNx покрытий конденсацией плазмы падением потенциала
von: Кунченко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2000)
von: Кунченко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2000)
Влияние малых добавок кремния на служебные характеристики нитрид-титановых покрытий
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон»
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)
Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Трибологические характеристики и механические свойства многослойных вакуумно-дуговых покрытий TiN/ZrN
von: Гранкин, С.С., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Гранкин, С.С., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів
von: Аксьонов, І.І., et al.
Veröffentlicht: (2000)
von: Аксьонов, І.І., et al.
Veröffentlicht: (2000)
Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Влияние расположения подложки относительно потока фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы на структуру и свойства покрытий TіN
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2017)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2017)
Вакуумно-дуговые хромовые покрытия для защиты сплава Zr-1Nb от высокотемпературного окисления на воздухе
von: Куприн, А.С., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Куприн, А.С., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
von: Опалев, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2000)
von: Опалев, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2000)
Исследование процесса осаждения нанометрических углеродных образований из газовой фазы на катализаторе - порошке никеля
von: Гурин, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2004)
von: Гурин, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2004)
Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением
von: Кунченко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)
von: Кунченко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)
Формирование радиальных потоков сепарированной эрозионной плазмы вакуумной дуги
von: Аксенов, И.И.
Veröffentlicht: (2001)
von: Аксенов, И.И.
Veröffentlicht: (2001)
CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом
von: Кунченко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)
von: Кунченко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)
Оценка диэлектрических свойств микродуговых покрытий на деформируемых алюминиевых сплавах
von: Гуцаленко, Ю.Г., et al.
Veröffentlicht: (2018)
von: Гуцаленко, Ю.Г., et al.
Veröffentlicht: (2018)
Электродуговой плазмотрон для высокопроизводительного синтеза алмазных покрытий
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)
Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів
von: Аксьонов, І.І., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Аксьонов, І.І., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2002)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2002)
Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
von: Журавлев, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2017)
von: Журавлев, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2017)
Эволюция разрядной ячейки при вакуумно-дуговом разряде на меди
von: Павлов, В.С.
Veröffentlicht: (2004)
von: Павлов, В.С.
Veröffentlicht: (2004)
Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий
von: Решетняк, Е.Н., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Решетняк, Е.Н., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Излучательная способность металлокерамических покрытий
von: Патокин, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2006)
von: Патокин, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2006)
Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
von: Сысоев, Ю.А.
Veröffentlicht: (2013)
von: Сысоев, Ю.А.
Veröffentlicht: (2013)
Ähnliche Einträge
-
Вакуумно-дуговое оборудование и технологии покрытий в ХФТИ
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2016) -
Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2010) -
Магнитоуправляемый вакуумно-дуговой источник плазмы
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2009) -
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2002) -
Слоистые Ti-Cr–N-покрытия, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения
von: Кунченко, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2007)