Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
Описана установка, в которой применен ряд технических решений, нетрадиционных для вакуумно- дуговых машин аналогичного назначения – камера колпачного типа, позволяющая применить промывку ее внутренних поверхностей сухим горячим азотом или аргоном при загрузке и выгрузке изделий со стороны днища;...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2008 |
| Автори: | Аксёнов, И.И., Белоус, В.А. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111085 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 2. — С. 108-118. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Вакуумно-дуговое оборудование и технологии покрытий в ХФТИ
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2016)
Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2010)
Слоистые Ti-Cr–N-покрытия, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2007)
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2002)
Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2011)
Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)
Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)
Механические характеристики, структура и напряженное состояние вакуумно-дуговых TiN-покрытий, осажденных при подаче на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)
Механические характеристики твэльных трубок из сплава Zr1Nb после осаждения ионно-плазменных покрытий
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2006)
Транспортировка вакуумно-дуговой плазмы в неоднородном магнитном поле
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2005)
Влияние малых добавок кремния на служебные характеристики нитрид-титановых покрытий
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2011)
Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон»
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Трибологические характеристики и механические свойства многослойных вакуумно-дуговых покрытий TiN/ZrN
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2015)
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів
за авторством: Аксьонов, І.І., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Аксьонов, І.І., та інші
Опубліковано: (2000)
Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2015)
Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Вакуумно-дуговые хромовые покрытия для защиты сплава Zr-1Nb от высокотемпературного окисления на воздухе
за авторством: Куприн, А.С., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Куприн, А.С., та інші
Опубліковано: (2015)
Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
за авторством: Опалев, О.А., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Опалев, О.А., та інші
Опубліковано: (2000)
Исследование процесса осаждения нанометрических углеродных образований из газовой фазы на катализаторе - порошке никеля
за авторством: Гурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Гурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2004)
Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2001)
Формирование радиальных потоков сепарированной эрозионной плазмы вакуумной дуги
за авторством: Аксенов, И.И.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Аксенов, И.И.
Опубліковано: (2001)
CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)
Электродуговой плазмотрон для высокопроизводительного синтеза алмазных покрытий
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2001)
Оценка диэлектрических свойств микродуговых покрытий на деформируемых алюминиевых сплавах
за авторством: Гуцаленко, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Гуцаленко, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2018)
Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів
за авторством: Аксьонов, І.І., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Аксьонов, І.І., та інші
Опубліковано: (2009)
Исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2002)
Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
за авторством: Журавлев, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Журавлев, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2017)
Эволюция разрядной ячейки при вакуумно-дуговом разряде на меди
за авторством: Павлов, В.С.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Павлов, В.С.
Опубліковано: (2004)
Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий
за авторством: Решетняк, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Решетняк, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2008)
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы
за авторством: Стрельницкий, В.Е.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Стрельницкий, В.Е.
Опубліковано: (2002)
Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
за авторством: Сысоев, Ю.А.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Сысоев, Ю.А.
Опубліковано: (2013)
Использование вторично-ионной эмиссии для изучения процессов формирования покрытий Cr-N на алюминии
за авторством: Вирич, В.Д., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Вирич, В.Д., та інші
Опубліковано: (2003)
Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2001)
Исследование влияния параметров синтеза алмазных покрытий на скорость их роста и величину удельного электрического сопротивления
за авторством: Веревкин, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Веревкин, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
Вакуумное активированное диффузионное насыщение как способ получения антикоррозионных и эрозионностойких покрытий для материалов ядерных и термоядерных реакторов
за авторством: Змий, В.И., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Змий, В.И., та інші
Опубліковано: (2001)
Влияние лазерной обработки, карбонитрации и их сочетания с вакуумно-плазменным покрытием tin на некоторые свойства стали Р6М5
за авторством: Мацевитый, В.М., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Мацевитый, В.М., та інші
Опубліковано: (2001)
Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме
за авторством: Поляков, Ю.И., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Поляков, Ю.И., та інші
Опубліковано: (2011)
Схожі ресурси
-
Вакуумно-дуговое оборудование и технологии покрытий в ХФТИ
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2016) -
Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2010) -
Слоистые Ti-Cr–N-покрытия, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2007) -
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2002) -
Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2011)