Исследование методом математического моделирования зависимости профилей первичного дефектообразования от угла падения ионов при низкотемпературном облучении поверхности меди ионами Al⁺

Методом математического моделирования, с использованием программных комплексов SPURT.MP и CALCMULT, исследована эволюция пространственного распределения имплантированных ионов и радиационных точечных дефектов по глубине Cu-мишени при облучении последней ионами Al+ с различными углами падения. Энерги...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2009
Main Authors: Павленко, В.И., Слепцов, С.Н., Сафонов, В.И.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2009
Series:Вопросы атомной науки и техники
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111119
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Исследование методом математического моделирования зависимости профилей первичного дефектообразования от угла падения ионов при низкотемпературном облучении поверхности меди ионами Al⁺ / В.И. Павленко, С.Н. Слепцов, В.И. Сафонов // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 2. — С. 31-48. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine